好處
- 測(cè)量范圍從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性
- 超壓檢測(cè)保護(hù)絲極,防止過早燒毀
- 雙長(zhǎng)使用壽命氧化釔銥絲
- 自動(dòng)發(fā)射電流選擇降低了控制復(fù)雜性
- 傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù),易于更換,可保證高再現(xiàn)性
- 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
典型應(yīng)用
- 對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
規(guī)格
類型 | BAG402 | |
---|---|---|
測(cè)量范圍 (空氣, 氧2, 一氧化碳, 氮2) | 5×10-10 … 2.7×10-2 | |
精度 | ||
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
重復(fù)性 | ||
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
除氣 (1) | ||
p < 7.2="" ×="">-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
壓強(qiáng), | bar (absolute) | 2 |
溫度 | ||
操作 (環(huán)境) | °C | 0 … +50 |
儲(chǔ)存 | °C | -20 … +70 |
法蘭口的烘烤,不帶BPG402-S電子單元 | °C | 80 |
供電電壓 | +20 … +28 | |
輸出信號(hào)模擬 (4) | ||
輸出信號(hào) | V | 0 … +10 |
測(cè)量范圍 log / lin | V | 0 … +9 |
電壓 vs. 壓強(qiáng) | volts per decade | 1 |
錯(cuò)誤信號(hào) | V | > +10 |
負(fù)載阻抗, 最小 | k? | 10 |
第二模擬輸出 | none | |
設(shè)點(diǎn)繼電器 | ||
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | none | |
范圍 | ||
繼電器觸點(diǎn) | ||
滯后 | ||
觸點(diǎn)額定值 | ||
數(shù)字功能 | degas and emission | |
接口 (數(shù)字) (2) | Diagnosis port | |
發(fā)射控制 | manual | |
燈絲 | two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir) | |
燈絲狀態(tài) / 繼電器 | LED / relay | |
電氣連接 | D-Sub, 9-pin, male | |
電纜長(zhǎng)度,值 | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空中的材料 | Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
內(nèi)部容積 KF / CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
重量 KF / CF | g | 450 / 710 |
保護(hù)級(jí)別 | IP30 |
1)除氣期間準(zhǔn)確性降低
2)不可同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場(chǎng)總線
零件號(hào)
BAG402 | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
353-600 | BAG402 DSUB9 KF25 |
353-601 | BAG402 DSUB9 CF40 |
附件
BAG402 | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
備件
BAG402 | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
354-484 | 備用傳感器 BAG402 DN 25 ISO-KF |
354-485 | 備用傳感器 BAG402 DN 40 CF-R |
數(shù)據(jù)表
手冊(cè)
手冊(cè)
三維步驟文件