好處
- 從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓(3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓)的極其寬泛的測量范圍
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)絲極,防止過早燒毀
- 雙長使用壽命氧化釔銥絲
- 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員的干預(yù)
- 傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù),易于更換,可保證高再現(xiàn)性
- 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
典型應(yīng)用
- 對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
新聞
新! 現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口!
規(guī)格
類型 | BPG402-S | |
---|---|---|
測量范圍(空氣、O2、CO、N2) | 5×10-10 … 1000 | |
精度 | ||
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
可重復(fù)性 | ||
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
除氣 (1) | ||
p < 7.2="" ×="">-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
壓力, | bar (absolute) | 2 |
溫度 | ||
運(yùn)行(環(huán)境) | °C | 0 … +50 |
貯存 | °C | -20 … +70 |
在法蘭處烘烤,無電子設(shè)備 BPG402-S | °C | 80 |
無電子設(shè)備,在法蘭處烘烤 BPG402-SL | °C | 150 |
電源電壓 | +20 … +28 | |
輸出信號模擬 | ||
輸出信號 | V | 0 … +10 |
測量范圍 | V | +0.774 … +10 |
電壓與壓強(qiáng) | volts per decade | 0.75 |
錯誤信號 | V | 0.1 / 0.3 / 0.5 |
最小負(fù)載電阻 | k? | 10 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器 | ||
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | 1 | |
范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
繼電器觸點(diǎn) | n.o., potential free | |
滯后 | % of reading | 10 |
觸點(diǎn)額定值 | ≤30 | |
數(shù)字功能 | degas | |
接口(數(shù)字)(2) | RS232C | |
發(fā)射控制 | automatic / manual via interface | |
單絲 | two Yt2O3 coated Ir | |
單絲狀態(tài)/繼電器 | LED / relay | |
電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | |
電纜長度, (3) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
內(nèi)部容積 KF / CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
重量 KF / CF | g | 450 / 710 |
保護(hù)等級 | IP30 | |
Profibus DP | ||
波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
數(shù)字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | 2 | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn) | n.o., potential free | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 滯后 | % of reading | 10 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值 | ≤30 | |
Profibus DP 連接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
CDG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
DeviceNet™ | ||
協(xié)議 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
數(shù)據(jù)率開關(guān) | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
電纜長度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
電纜長度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
電纜長度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
數(shù)字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
技術(shù)規(guī)格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
設(shè)備類型 | ''CG'' for combination gauge | |
I / O 從屬傳訊 | polling only | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | 2 | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn) | n.o., potential free | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 滯后 | % of reading | 10 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值 | ≤30 | |
DeviceNet™ 電源電壓 | +11 … +25 | |
真空計(jì)電源電壓 | +20 … +28 | |
DeviceNet™ 連接器 | Microstyle, 5-pin | |
BPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
以太網(wǎng) | ||
以太網(wǎng)協(xié)議 | protocol specialized for EtherCAT | |
通訊標(biāo)準(zhǔn) | ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge | |
節(jié)點(diǎn)地址 | Explicit Device Identification | |
物理層 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
以太網(wǎng)數(shù)字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information | |
過程數(shù)據(jù) | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
郵箱 (CoE) | SDO requests, responses and information | |
以太網(wǎng)連接件 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
電纜 | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
電纜長度 | m (ft.) | ≤100 (330) |
1)除氣期間準(zhǔn)確性降低
2)不可同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場總線
3)RS232C 操作 <>
零件號
BPG402-S | |
---|---|
零件號 | 明細(xì) |
353-570 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
353-571 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
353-572 | BPG402-S 真空計(jì) |
353-573 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
353-578 | BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
353-574 | BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
353-575 | BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
353-576 | BPG402-SD 型真空計(jì) |
353-577 | BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R. |
353-590 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-591 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
353-596 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-597 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
354-494 | BPG402 感應(yīng)器 |
354-495 | BPG402 Spare measurement system DN40CF-R |
附件
BPG402-S | |
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零件號 | 明細(xì) |
353-511 | BPG400 24V電源 |
353-512 | Baffle for BPG400 |
211-113 | 中心圈 with baffle DN 25 KF |
備件
BPG402-S | |
---|---|
零件號 | 明細(xì) |
354-494 | BPG402 感應(yīng)器 |
354-495 | BPG402 Spare measurement system DN40CF-R |
數(shù)據(jù)表
手冊
手冊
三維步驟文件
其他文件