SmartWLI擴展型白光干涉三維輪廓儀
白光干涉測量技術廣泛應用于光滑與粗糙表面的三維形貌表征。垂直方向的測量精度可以達到納米級別。 SmartWLI擴展型白光干涉三維輪廓儀擁有納米級測試精度,外接PC或筆記本電腦進行實時數(shù)據(jù)分析。 SmartWLI擴展型白光干涉三維輪廓儀功能全面,輕松應對各種測試環(huán)境。電動XY雙軸樣品臺匹配自動拼接程序,應對大面積測試任務。典型應用包括科學研究、質(zhì)量控制和工藝管理。德國SmartWLI擴展型白光干涉三維輪廓儀具備如下優(yōu)點:
- 通用型
- 精度高
- 測速快
- 穩(wěn)定可靠
- 自動拼接
MountainsMAP表面分析軟件與三維可視化測量報告
SmartWLI擴展型白光干涉三維輪廓儀技術參數(shù)
測量系統(tǒng) | |
量測原理 | 白光干涉 |
Z軸定位系統(tǒng) | 壓電效應調(diào)節(jié)系統(tǒng) |
高度量測范圍 | 可達400 μm |
攝像頭參數(shù) | CCD攝像頭;1624x 1234相素 |
干涉物鏡系統(tǒng) | |
放大倍數(shù)MAG 視場范圍FOV (mm) 橫向分辨率 (um) | 2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 × 4.12 × 3.06 mm2 – 0.103 × 0.076mm2 10.54 μm – 0.55 μm |
光源 | LED |
測試時間 | 通常<20秒 |
軟件系統(tǒng) | |
SmartWLI | 基于微軟Win7操作系統(tǒng),64位表面形貌測量軟件;三維數(shù)據(jù)可通過接口直接傳輸至MountainsMap分析軟件。 |
MountainsMap | 三維數(shù)據(jù)分析軟件,輪廓及三維影像結(jié)果輸出、測量數(shù)據(jù)預處理及后處理、德標(DIN)歐標( EN) ISO標準粗糙度及高度測定、串行處理及測試日志。 |
輸出文件格式 | ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF |
部分測試結(jié)果展示
液態(tài)軸承
晶片
鉆石工具
透鏡工具
金屬表面
汽車車身表面
粗糙度標準片
發(fā)動機汽缸