好處
- 復(fù)合真空計(jì) – 倒磁控管和皮拉尼
- 從 5 X 10-9 mbar 至大氣氣壓的寬廣測(cè)量范圍
- 不會(huì)出現(xiàn)絲極燒毀的現(xiàn)象
- 的點(diǎn)火屬性
- 易于清潔
- FPM 或金屬密封饋入裝置
- LED 指示器,高壓時(shí)亮起
- 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
典型應(yīng)用
- 高真空壓力監(jiān)控
- 蒸發(fā)鍍?yōu)R系統(tǒng)基本壓力
- 中真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
規(guī)格
類型 | MPG400 FPM sealed | MPG401 metal-sealed | |
---|---|---|---|
測(cè)量范圍(空氣,N2) | 5 x 10-9 … 1000 | 5 x 10-9 … 1000 | |
精度 (N2) | |||
1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±30% | ≈±30% |
可重復(fù)性 | |||
1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±5% | ≈±5% |
安裝定位 | any | any | |
容許壓力 | bar (absolute) | ≤10 (limited to inert gases) | ≤10 (limited to inert gases) |
容許溫度 | |||
運(yùn)行(環(huán)境) | °C | +5 … +55 | +5 … +55 |
貯存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 |
烘烤 (1) | °C | 150 | 150 |
單絲溫度(皮拉尼) | °C | 120 | 120 |
電源電壓 | |||
真空計(jì)上 | V (dc) | +15 … +30 | +15 … +30 |
纜線最長(zhǎng)的電源裝置 (2) | V (dc) | +16 … +30 | +16 … +30 |
波紋 | V (p-p) | ≤1 | ≤1 |
功耗 | W | ≤2 | ≤2 |
可連接的保險(xiǎn)絲 | AT | ≤1 | ≤1 |
輸出信號(hào)(測(cè)量信號(hào)) | |||
電壓范圍 | V | 0 … +10.5 | 0 … +10.5 |
測(cè)量范圍 | V | +1.82 … +8.6 | +1.82 … +8.6 |
電壓與壓強(qiáng) | logarithmic, 0.6 volts per decade | logarithmic, 0.6 volts per decade | |
錯(cuò)誤信號(hào) | |||
無(wú)電源 | V | <> | <> |
皮拉尼傳感器,單絲斷裂 | V | >9.5 | >9.5 |
輸出電阻 | ? | 2 x 10 | 2 x 10 |
最小負(fù)載電阻 | k? | 10, short-circuit proof | 10, short-circuit proof |
反應(yīng)時(shí)間 | |||
p > 10-6 毫巴 | ms | <> | <> |
p = 10-8 毫巴 | ms | ≈1000 | ≈1000 |
識(shí)別真空計(jì) | 85, referenced to supply common | 85, referenced to supply common | |
狀態(tài) | |||
僅皮拉尼模式 | V | 0 (low) | 0 (low) |
復(fù)合皮拉尼 / 冷陰極模式 | V | 15 … 30 (high) | 15 … 30 (high) |
LED | LED green | high voltage on | high voltage on |
電氣連接 | FCC 68 appliance connector, 8 poles, female | FCC 68 appliance connector, 8 poles, female | |
傳感器電纜 | 8 poles plus shielding | 8 poles plus shielding | |
電纜長(zhǎng)度 | m | ≤50 (8 x 0.14 mm2) | ≤50 (8 x 0.14 mm2) |
運(yùn)行電壓 | kV | ≤3.3 | ≤3.3 |
運(yùn)行電流 | µA | ≤500 | ≤500 |
暴露于真空的材料 | stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W | |
內(nèi)部容積 | cm³ | ≈20 | ≈20 |
重量 | |||
DN 25 ISO-KF | g | ≈700 | ≈730 |
DN 40 ISO-KF | g | ≈720 | ≈750 |
DN 40 CF-F | g | ≈980 | ≈1010 |
保護(hù)類別 | IP 40 | IP 40 | |
標(biāo)準(zhǔn) | |||
CE 合規(guī) | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 |
1)沒有電子元件和磁屏蔽。
2)電源單元的最小電壓必須與傳感器電纜的長(zhǎng)度成比例地增加。
零件號(hào)
MPG400 FPM sealed | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
351-010 | MPG400 真空計(jì) |
351-011 | MPG400 DN 40 ISO-KF |
351-012 | MPG400 DN 40 CF-F |
MPG401 metal-sealed | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
351-020 | MPG401 DN 25 ISO-KF |
351-021 | MPG401 DN 40 ISO-KF |
351-022 | MPG401 DN 40 CF-F |
351-023 | 磁屏蔽 |
附件
MPG400 FPM sealed | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
351-023 | 磁屏蔽 |
MPG401 metal-sealed | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
351-023 | 磁屏蔽 |
備件
MPG400 FPM sealed | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
BN846469-T | Spare measurement system MPG400 |
BN846470-T | Spare measurement system MPG400 DN40 KF |
BN846471-T | Spare measurement system MPG400 DN40CF-F |
351-994 | MPG40X 點(diǎn)火單元 |
351-995 | 起輝器 |
351-998 | 維修包 |
351-999 | 維修保養(yǎng)套件 |
MPG401 metal-sealed | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
BN846472-T | Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF |
BN846473-T | Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF |
BN846474-T | Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F |
351-994 | MPG40X 點(diǎn)火單元 |
351-995 | 起輝器 |
351-996 | MPG401 Repair set |
351-997 | MPG401 Maintenance set |
數(shù)據(jù)表
手冊(cè)
三維步驟文件
視頻