WGL光電輪廓儀
| 特點(diǎn):本儀器采用非接觸、光學(xué)相移干涉測(cè)量方法,測(cè)量時(shí)不損傷工件表面,能快速測(cè)得各種工件表面微觀形貌的立體圖形, 并分析計(jì)算出測(cè)量結(jié)果。適用于測(cè)量各種量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度;標(biāo)尺、度盤的刻線深度;光柵的槽形結(jié)構(gòu)鍍層厚度和 鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌;磁(光)盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測(cè)量;硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量等等。 計(jì)量研究單位工礦企業(yè)計(jì)量室,精密加工車間,也適用于高等院校和科學(xué)研究單位等。 主要技術(shù)參數(shù) |