市面上干式真空泵廠家較多,選用廠家前要了解此類泵的作用到底是什么。干式真空泵是指能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),而且泵的壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。主要有干式螺桿真空泵、無油往復(fù)真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵幾種形式,且應(yīng)用廣泛。干式真空泵1、在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵。
2、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求。
3、干式真空泵可用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
4、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。
5、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。
隨著科技的發(fā)展,干式真空泵廠家技術(shù)也不斷提高,受反應(yīng)物質(zhì)影響小,穩(wěn)定性好。選擇一家好的廠家購買,質(zhì)量更有保障。