產(chǎn)品介紹
名稱 | 真空石英等離子清洗機 |
型號 | TS-SY05 |
外形尺寸(W×H×D) | 600×420×320mm |
反應腔容量 | Φ160×240mm |
反應腔體材料 | 石英 |
真空泵 | BOSS合資4L/S |
角閥 | 超真空40KF |
射頻電源 | 13.56MHZ |
PLC系統(tǒng) | 松下 |
電氣系統(tǒng) | 施耐德 |
觸摸屏 | 松下4.3寸 顯控 |
陶瓷封裝 | 進口高頻陶瓷 |
處理氣體 | O2、Ar2、N2、H2、CF4 |
輸出功率 | 0-300W可調(diào) |
真空石英等離子清洗機產(chǎn)品特點
綠色環(huán)保、不使用化學溶劑、無二次污染、操作簡便、使用和維護成本極低。
真空石英等離子清洗機適用領域
石英型等離子清洗器采用電感耦合式工作原理,在微波管、零件絕緣方面作用很突出,適用于高潔凈度的敏感產(chǎn)品處理;廣泛地被大中院校、科研機構(gòu)、企業(yè)研發(fā)機構(gòu)和實驗室采用。其產(chǎn)品主要應用在材料科學、高分子科學、生物醫(yī)藥材料學、微流體研究、微電子機械系統(tǒng)研究、光學、顯微術(shù)、牙科醫(yī)療等領域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。該產(chǎn)品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料,并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉(zhuǎn)變、表面性質(zhì)改變、提高結(jié)合力等處理效果。