好處
- 測(cè)量范圍從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)
- 雙標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)使用壽命氧化釔銥絲
- 一體式主動(dòng)測(cè)量?jī)x,內(nèi)置顯示器、設(shè)定點(diǎn)、模擬輸出和標(biāo)準(zhǔn)集成式 RS485 數(shù)字接口
- 帶鍵盤的明亮的數(shù)字 OLED 顯示屏,簡(jiǎn)化設(shè)置、操作和編程
- 用戶可編程的設(shè)定點(diǎn)繼電器
- 用戶可編程的顯示器單位:mbar、Torr 或 Pa
- 用戶可選的發(fā)射電流自動(dòng)設(shè)換范圍
- 機(jī)械強(qiáng)度和堅(jiān)固性
- 各種法蘭的選擇
- 易于更換的傳感元件
- 合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn):CE、RoHS
- 直接取代 Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® 模塊 – 包括軟件命令在內(nèi)的相同控制功能 (RS485)
(Granville-Phillips® 和 Micro-Ion® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注冊(cè)商標(biāo))
典型應(yīng)用
- 對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
新聞
我們從現(xiàn)在開始接受訂單!規(guī)格
類型 | BAG302 | |
---|---|---|
測(cè)量范圍 | 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2 | |
精度 (N2) | ||
1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar | % of reading | ±15 |
1×10-8 … 5×10-2 Torr | % of reading | ±15 |
可重復(fù)性 | % of reading | ±5 |
脫氣 | ||
p < 6.7="" x="">-5 | mbar | electron bombardment, 2 min (default) |
p < 5.00="" x="">-5 | Torr | (programmable between 2 ... 10 min) |
溫度 | ||
運(yùn)行(環(huán)境) | °C | 0 ... +40 |
存儲(chǔ) | °C | -40 ... +70 |
法蘭處烘烤(傳感器,已拆下電子元件) | °C | 200 |
電源電壓 | V (dc) | +20 ... +28 |
模擬輸出信號(hào) | V | 0 ... +9 (log-linear) |
電壓與壓力 | volts per decade | 1 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器 | 1 (single-pole double-throw relay (SPDT)) 1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive | |
電氣連接 | D-Sub, 9-pin, male for analog,D-Sub, 9-pin, female for RS485 | |
接口(數(shù)字式) | RS485 | |
發(fā)射控制 | manual | |
絲極 | two Yt2O2 coated Ir | |
絲極狀態(tài) | display / digital output | |
數(shù)字功能 | degas, filament on/off and emission control | |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni | |
安裝方向 | any | |
內(nèi)部容積 | cm³ (in.³) | 16.4 (1.0) |
重量 KF / CF | 270 |
數(shù)據(jù)表
手冊(cè)
三維步驟文件