主要優(yōu)點(diǎn)：
- 使用新型高通量 Tomahawk HT 離子鏡筒，可制備較高質(zhì)量、位點(diǎn)特異性 TEM 和 APT 樣品
- 使用可選配的 AutoTEM 5 軟件，可進(jìn)行快速、簡單、全自動、無人值守的多位點(diǎn)原位和非原位 TEM 樣品制備以及橫向切片。
- 憑借采用 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù)的 Elstar 電子鏡筒，可大大縮短各種經(jīng)驗(yàn)水平的用戶獲得納米級信息的時間。
- 可通過多達(dá) 6 個集成在鏡筒內(nèi)和透鏡下的集成檢測器獲得具有清晰、精確且無電荷的對比度的較完整樣品信息
- 使用可選的 Auto Slice & View 4 (AS&V4) 軟件，可提供較高質(zhì)量、多模態(tài)亞表面和 3D 信息，較精確地瞄準(zhǔn)目標(biāo)區(qū)域
- 對復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行快速、準(zhǔn)確、精確的銑削和沉積，臨界尺寸小于 10 nm
- 具有高度靈活的 110 mm 載物臺、多用途樣品支架和 Nav-Cam+，可輕松處理和導(dǎo)航樣品
- 基于集成樣品清潔管理和專用成像模式（如 DCFI 和 SmartScan 模式）的無偽影成像
