yutaka中小流量型壓力控制設(shè)備L18H系列
L18H系列(中小流量型)
功能
低壓1MPa以下
焊接規(guī)范金屬墊片
配件集成規(guī)格
調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)
針型
兼容氣體
7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體,有毒氣體
除外標準流量
~60噸/分鐘
yutaka中小流量型壓力控制設(shè)備L18H系列
特點
規(guī)范
適用氣體 高純度氣體 入口壓力 0.99MPa以下 調(diào)節(jié)壓力 最大0.7MPa(量程規(guī)格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.7MPa
)耐壓壓力 1.5MPa (入口側(cè)) 簡歷值 0.1 工作溫度 -10~+40°C 外部泄漏 1×10-11Pa?m3/s?He (真空方式) 質(zhì)量 約0.36公斤 安裝方式 使用背螺釘安裝 L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 標準的塊式壓力調(diào)節(jié)器,專為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計。 此外,作為L18產(chǎn)品的繼承者,流動特性性能得到了極大的提高。
主體的焊接接頭規(guī)格也是節(jié)省閥箱空間的理想選擇。
流量約為之前產(chǎn)品L18系列的兩倍(相同的平面間尺寸)
隔膜外部密封使用金屬密封。