半導(dǎo)體封裝等離子清洗機(jī)清除微粒污染 氧化層 有機(jī)物 避免虛焊
微波等離子清洗機(jī)在芯片封裝工藝段的應(yīng)用范圍
半導(dǎo)體封裝等離子清洗機(jī)芯片粘接前的表面清洗:等離子清洗機(jī)能提升芯片與基板的潤濕性、去除氧化膜,從而提升粘接效果,改善產(chǎn)品品質(zhì);
共晶焊前表面清洗:等離子清洗機(jī)能清除基板上的雜質(zhì)和焊料上的氧化膜,從而減少共晶空洞的產(chǎn)生,提升共晶的可靠性和良品率;
引線鍵合前處理:等離子清洗機(jī)有效清除鍵合區(qū)光刻膠,引線框架氧化膜、制程中的有機(jī)污染物等,從而達(dá)到提高鍵合強(qiáng)度,減少鍵合分離的目的;
芯片塑封前表面處理:等離子清洗機(jī)提高材料表面的潤濕性,減少封裝空隙,增強(qiáng)其電氣性能;
在芯片封裝工藝中,芯片粘接/共晶→引線焊接→封裝→Mark等工藝環(huán)節(jié),使用微波PLASMA等離子清洗機(jī),無損精密器件、不影響上道工藝性能,自動(dòng)化等離子體清洗設(shè)備半導(dǎo)體封裝等離子刻蝕機(jī)助力芯片封裝質(zhì)量有效提升。
等離子清洗機(jī)的處理,可以提高焊接質(zhì)量,增加鍵合強(qiáng)度,提高可靠性,提高質(zhì)量節(jié)約成本。等離子清洗不僅能大大提高粘接強(qiáng)度等性能,還能避免人為因素導(dǎo)致二次污染。