brooksinstrument機(jī)械壓力計(jì) 布魯克斯儀器S122 / C122的介紹
brooksinstrument機(jī)械壓力計(jì) 布魯克斯儀器S122 / C122的介紹
布魯克斯儀器 122 系列機(jī)械壓力計(jì)的設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)目的是滿足半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用對(duì)高純度的苛刻要求。設(shè)備采用不銹鋼材質(zhì),特點(diǎn)是精度可達(dá)滿量程的 1%。上述兩英寸儀表屬于耐用型測(cè)量設(shè)備,適用于各種 過(guò)程連接、壓力范圍和安裝方向,可高效、可靠地進(jìn)行本地壓力監(jiān)測(cè)。
特點(diǎn)
不銹鋼移動(dòng)件可確保精密性
316L 不銹鋼接液部件
焊接至無(wú)氧倉(cāng)中的儀表,以滿足嚴(yán)格的潔凈和安全性準(zhǔn)則要求
擁有各種型號(hào)和壓力范圍,可滿足特定設(shè)計(jì)需求
優(yōu)勢(shì)
耐用、高效的壓力本地監(jiān)測(cè)手段
應(yīng)用
用于半導(dǎo)體加工的氣體輸送系統(tǒng)和工具,包括:
大宗氣體
氣柜
氣體分配
如需能夠在超高純度應(yīng)用中進(jìn)行可靠壓力監(jiān)測(cè)的智能設(shè)備,請(qǐng)選擇布魯克斯儀器的智能電子壓力傳感器和變送器。所選用的接液表面材料具有高耐腐蝕性,適用于各種惡劣環(huán)境。我們的創(chuàng)新型隔膜生產(chǎn)工藝可降低零點(diǎn)漂移,而其他壓力傳感器和變送器競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品則通常缺乏零點(diǎn)穩(wěn)定性。該產(chǎn)品擁有寬量程以及各種 I/O 選件,您僅需單一設(shè)備類型即可滿足各種工作條件要求,從而能夠最大限度降低庫(kù)存并避免操作人員混淆。