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半自動方片勻膠機

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  • 公司名稱?陜西愛姆加電子設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/5/15 11:35:43
  • 訪問次數(shù)370
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愛姆加電子設備有限公司專業(yè)從事半導體工藝設備的設計、生產(chǎn)。產(chǎn)品系列有:勻膠機、顯影機、半自動勻膠顯影機 、全自動勻膠顯影機、全自動顯影機、半導體噴膠機、槽式(Wet Bench)及單片(Single Wafer)蝕刻_剝離_清洗設備、清洗甩干機、熱板烘烤(Hot Plate)、自動涂膠顯影機|自動砂輪劃片切割等設備;以及開發(fā)研制、升級換代、維修服務。公司擁有一批多年從事半導體設備的機械、電氣、光學、計算機、以及從事半導體工藝線生產(chǎn)的專業(yè)的高中級工程技術(shù)人員,擁用CAD計算機網(wǎng)絡開發(fā)系統(tǒng)-FAB的MES等管理軟件,各類檢測儀器等*的設計手段. 產(chǎn)品適應不同工藝等級的客戶要求,廣泛應用于半導體、太陽能、MicroLED、MINILED\MEMS、PUMPING工藝、平板顯示及Photo-MASK等產(chǎn)品的清洗、濕法刻蝕、薄膜旋涂、噴涂、顯影、傳統(tǒng)后道封裝工藝。 公司提供二手機臺TEL/DNS、MARK-V\VZ、MARK7/8、ACT8等廠商設備的備品、備件及應用材料的CMP設備維修翻業(yè)務。
半自動勻膠機,用于小方形基片及尺寸為□50.8×50.8mm晶圓片,可兼容6英寸晶圓;厚度都在0.15-1.5mm基片完成自動滴膠、甩膠、勻膠工藝。
半自動方片勻膠機 產(chǎn)品信息

設備主要由主軸單元、自動供給系統(tǒng)(光刻膠)、排風系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成,采用框架結(jié)構(gòu),外表為優(yōu)質(zhì)不銹鋼鏡面護板,無發(fā)塵量且不吸浮塵顆粒,工作方式為手動上下片,自動完成工藝。
主軸電機采用進口交流無刷伺服電機(德國路斯特),保證旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、加速度控制精度高,重復性、穩(wěn)定性好。多件套組成的防濺、廢液收集、氣流控制,使涂膠工藝條件達到,以形成均勻性高的膠膜,滿足光刻工藝要求。

  • 勻膠單元          1個(spin unit)
  • 離心機
  • 額定轉(zhuǎn)速(德國伺服電機): 06000rpm
  • 轉(zhuǎn)速:       08000rpm
  • 轉(zhuǎn)速最小調(diào)整量:   1rpm
  • 轉(zhuǎn)速精度:   ±1rpm500~3000rpm
  • 加速度:   20000rpm/s
  • 加速度最小調(diào)整量:   1RPM/S
  • 承片臺(chuck)
  • 材料:   防靜電PEEK材質(zhì)(兩個)
  • 與晶片接觸方式 :   真空吸附
  • 吸附真空度檢測:    數(shù)顯壓力傳感器


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