設備主要由主軸單元、自動供給系統(tǒng)(光刻膠)、排風系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成,采用框架結(jié)構(gòu),外表為優(yōu)質(zhì)不銹鋼鏡面護板,無發(fā)塵量且不吸浮塵顆粒,工作方式為手動上下片,自動完成工藝。
主軸電機采用進口交流無刷伺服電機(德國路斯特),保證旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、加速度控制精度高,重復性、穩(wěn)定性好。多件套組成的防濺、廢液收集、氣流控制,使涂膠工藝條件達到,以形成均勻性高的膠膜,滿足光刻工藝要求。
- 勻膠單元 1個(spin unit)
- 離心機
- 額定轉(zhuǎn)速(德國伺服電機): 0~6000rpm
- 轉(zhuǎn)速: 0~8000rpm
- 轉(zhuǎn)速最小調(diào)整量: 1rpm
- 轉(zhuǎn)速精度: ±1rpm(500~3000rpm)
- 加速度: 20000rpm/s
- 加速度最小調(diào)整量: 1RPM/S
- 承片臺(chuck)
- 材料: 防靜電PEEK材質(zhì)(兩個)
- 與晶片接觸方式 : 真空吸附
- 吸附真空度檢測: 數(shù)顯壓力傳感器