MM3A-EM探針站包括多達(dá)八個MM3A-EM微操作器,與我們的X和Y方向行程為30mm的遠(yuǎn)程子階段相結(jié)合。子階段可以選擇性地配備位置編碼器,可產(chǎn)生50nm的重復(fù)性。另一個選項是添加一個范圍為3 mm的Z軸。
整個平臺可以在短短幾分鐘內(nèi)安裝在SEM的載物臺上,也可以很容易地將其移除,以使顯微鏡恢復(fù)到以前的狀態(tài)。
MM3A-EM微操作器配備了低電流、低容量的測量能力,并與探測工具硬件和軟件套件兼容,包括帶電接觸測試儀和電子束感應(yīng)電流成像模塊等。
該平臺還可以安裝溫度高達(dá)450°C的加熱臺。其他定制可根據(jù)要求提供(e,g,集成LED照明)。
- 緊湊靈活
-易于安裝和拆卸,具有高度靈活性
-帶模塊化組件的即插即用系統(tǒng)
-大多數(shù)SEM/FIB儀器的接口解決方案
-快速設(shè)置
-大樣本的充足空間
-大工作范圍(30 mm x 30 mm子階段行程)
-開創(chuàng)性的布線技術(shù)
- 清晰簡單
-直觀的控制界面和軟件
-用戶友好且易于學(xué)習(xí)
-快速簡便的探針頭更換
-緊湊、獨(dú)立的電子設(shè)備
-使用多個操縱器輕松工作
- 堅固穩(wěn)定
-好的穩(wěn)定性
-低漂移(1納米/分鐘)
-可靠運(yùn)行(一年耐久性試驗)
-幾乎不受振動影響
-手動快速預(yù)定位
- 快速準(zhǔn)確
-高操作速度(高達(dá)10毫米/秒)
-亞納米分辨率(0.25納米)
-無齒隙或反向間隙
-廣泛的工作范圍
-一個驅(qū)動器中的粗排量和細(xì)排量
- 總高度:31毫米
- 總寬度:180毫米
- max樣本尺寸:70 mm-70 mm,max高度10 mm
- 重量:~1200克
三軸微型操作器
A=左/右B=上/下C=進(jìn)/出
- 工作范圍:A=240°,B=240°,C=12mm
- 分辨率A:7 x 10–9 rad(0.5 nm)
- 分辨率B:7 x 10–9 rad(0.2 nm)
- 分辨率C:<0.05 nm
- 低漂移:1納米/分鐘
低容量、低電流測量
- 噪音:25 fA@1 Hz
- 絕緣泄漏電流:<50 fA/V
- 信號導(dǎo)體電阻:<5?
- max電壓:100 V
- max電流:100 mA
變電站
- 行程X和Y:28.5毫米
- 速度:highest 2 mm/s
- 分辨率:<0.5 nm
- 重復(fù)性:50 nm(可選)
- 角度偏差:<1µrad
- 負(fù)載:500 g
- 可選Z驅(qū)動范圍:3毫米
- Z提升能力:25 g
- 溫度范圍:273 K至353 K
- 特高壓版本:273 K至393 K
- min壓力:10-7毫巴
- 超高壓版本:2 x 10-10毫巴
- 變電站安裝:4 x 3.2 mm孔
- 樣品安裝:夾子或2 x M3孔
產(chǎn)地:德國
- 納米拋光
- 故障分析
- 低電流晶體管測試