iH 高真空干泵 愛(ài)德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iH1800HTX 干式泵
我們的 iH 干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級(jí)主泵,使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨 設(shè)計(jì),可改善粉塵的處理,減少排氣噪音。此外,iH 系列泵配有一臺(tái)單級(jí)機(jī)械增壓泵和 封閉的水冷卻電機(jī)。
概述
iH1800HTX 專為需要較高的工作溫度以避免制程氣體冷凝的工藝(如 300 mm LPCVD 氮化物)而設(shè)計(jì)。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議,請(qǐng)與 Edwards 聯(lián)系。
iH1800HTX 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A
iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A
iH1800HTX 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A
iH1800HTX 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A
iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A
功能和優(yōu)勢(shì)
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無(wú)需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無(wú)需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器,而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 | 1800 m3h-1 |
1060 cfm | |
30000 l min-1 | |
極限真空 | 1 x 10-3 mbar |
7.5 x 10-4 Torr | |
0.1 Pa | |
典型軸封氮流量 | 4 slm |
進(jìn)氣口連接 | ISO160 |
出口連接 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
4 l min-1 | |
重量 | 502 kg |
極限功率輸入 | 4.1 kW |
電機(jī)額定功率 | 7.0 kW |
油容量 | 1.6 l |
所有數(shù)字均為無(wú)氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。