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愛德華edwards半導體干式真空泵iH80 干式泵

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱昆山熙日機械設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/5/22 8:08:42
  • 訪問次數202
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昆山熙日機械設備有限公司是由一批長期服務于某外企的骨干精英組建而成,注冊資金100萬,自公司成立起一直致力于真空設備及配件的研究、生產、推廣、銷售、 安裝及維修領域。本公司經過多年不懈的努力,已擁有一支專業(yè)的IT研發(fā) 人員和全面的銷售網絡,所經營的產品國內外,現已與國內外多家大型企業(yè)保持著長期的合作關系,本公司產品以質量優(yōu)良、操作簡單、性價比高及周到的售后服務等廣受市場好評,使得公司的效益得到迅速發(fā)展,為公司的長遠發(fā)展打下牢固的基礎。公司主要經營:真空泵、直空泵油、真空計、檢漏儀、流量計、鍍膜機、真空零配件、鍍膜機耗材等,以及實驗室儀器,實驗室耗材和其他工控產品。產品廣泛適用于:電光源、真空鍍膜、機械、光盤、冶金、石油、化工、造紙、食品、醫(yī)藥、電子、電、陶瓷、玻璃、電路板、引水、印染、制糖、制冷設備、工藝吸塑、科研、干燥及汽車維修等單位。售后服務:公司擁有專業(yè)的維修技術人員及*的檢測設備,并長期提供真空泵技術指導及修理、維護、保養(yǎng)、檢測、咨詢等服務;服務承諾:凡在本公司所購真空設備,均享有一年免費保修期, 并終身提供技術支持。公司堅持“以誠為本、信營至上”為宗旨,不斷創(chuàng)新改進,完善售后服務網絡。我們以秀的產品, *的質量,惠的價格,質的服務,愿同各界朋友互相合作,開拓美好的未來。
iH高真空干泵愛德華edwards半導體干式真空泵iH80干式泵我們的iH干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品)提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案
愛德華edwards半導體干式真空泵iH80 干式泵 產品信息

iH 高真空干泵  愛德華edwards半導體干式真空泵iH80 干式泵

我們的 iH 干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級主泵,使用創(chuàng)新的懸臂式轉子、爪式和羅茨 設計,可改善粉塵的處理,減少排氣噪音。此外,iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和 封閉的水冷卻電機。

     

Standard_Body_Image_iH

應用
功能與優(yōu)勢
泵系列

概述

Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照Z高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。
  

iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

EdwardsIH80_10.jpg

應用

  • 負載鎖

  • 輸送

  • 計量

  • 平版印刷

  • PVD 制程

  • PVD 預清潔

  • RTA

  • 剝離/灰化

  • 刻蝕

  • 植入源

  • HDP CVD

  • RTP

  • SACVD

  • MCVD

  • PECVD

  • LPCVD

  • ALD


有關任何特定應用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議,請與 Edwards 聯系。
a - iH80 干式泵 460V,60 Hz,3 相

iH80 干式泵 460V,60 Hz,3 相

A
a - iH80 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相

iH80 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相

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a - iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相

iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相

A
a - iH80 干式泵 230V,60 Hz,3 相

iH80 干式泵 230V,60 Hz,3 相

A

功能和優(yōu)勢

  • 優(yōu)化了設施消耗。

  • 無需預防性維護。

  • 懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。

  • 在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。

  • 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

  • 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

  • 整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。

技術數據

峰值速度103 m3h-1

61 cfm

1717 l min-1
極限真空1 x 10-2 mbar

7.5 x 10-3 Torr

1 Pa
典型軸封氮流量4 slm
進氣口連接ISO63
出口連接NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量120 l h-1

2 l min-1
重量240 kg
極限功率輸入2.7 kW
電機額定功率3.5 kW
油容量0.7 l

  
所有數字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。


15168338725
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