iH 高真空干泵 愛德華edwards半導體干式真空泵iH80 干式泵
我們的 iH 干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級主泵,使用創(chuàng)新的懸臂式轉子、爪式和羅茨 設計,可改善粉塵的處理,減少排氣噪音。此外,iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和 封閉的水冷卻電機。
應用
功能與優(yōu)勢
泵系列
概述
Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照Z高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有關任何特定應用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議,請與 Edwards 聯系。
iH80 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A
iH80 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A
iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A
iH80 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A
功能和優(yōu)勢
優(yōu)化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。
技術數據
峰值速度 | 103 m3h-1 |
61 cfm | |
1717 l min-1 | |
極限真空 | 1 x 10-2 mbar |
7.5 x 10-3 Torr | |
1 Pa | |
典型軸封氮流量 | 4 slm |
進氣口連接 | ISO63 |
出口連接 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 120 l h-1 |
2 l min-1 | |
重量 | 240 kg |
極限功率輸入 | 2.7 kW |
電機額定功率 | 3.5 kW |
油容量 | 0.7 l |
所有數字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。