SU8200系列日立高新場發(fā)射掃描電子顯微鏡采用日立高新公司全新開發(fā)的冷場電子槍,實現(xiàn)超高分辨率下觀察的同時,穩(wěn)定的束流亦可滿足長時間下的分析需求。在日立高新的新型冷場發(fā)射掃描電鏡(FE-SEM)SU8200系列中,有SU8220、SU8230、SU8240三款機型,于5月20日開始發(fā)售。
SU8200系列日立高新場發(fā)射掃描電子顯微鏡主要特點:
日立高新新研發(fā)的冷場電子槍
利用電子槍轟擊后的高亮度穩(wěn)定期,高分辨觀察和分析兼顧
大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)
通過頂部過濾器(選配項)實現(xiàn)多種材料對比度可視化