低功耗和零預(yù)防性維護,可降低擁有成本
小巧輕便,可使用靈活的 安裝選項
高性能電機和變頻器驅(qū)動裝置
待機模式使用環(huán)保模式,功耗 更低
高導(dǎo)熱性材料和 優(yōu)良設(shè)計可實現(xiàn)低水流量和高效冷卻 - 那又怎么樣?
精密陶瓷軸承 可確保高負載容量,因而更加可靠
低振動和小于 55 dB(A) 的低噪聲,可以安裝在操作中同附近
PVD
電介質(zhì)刻蝕
導(dǎo)體刻蝕
金屬刻蝕
植入源
概述
iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標(biāo)準。效率提高的同時降低了運行成本,并在整個壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)一致的泵送能力。
iGX 干泵包括以太網(wǎng)連接功能,允許通過網(wǎng)頁查看主要數(shù)據(jù),另外還包括一套全面的網(wǎng)絡(luò)選項,可確保泵持續(xù)運轉(zhuǎn)。
iGX 泵的峰值速度范圍很寬,并可以改變以適合各種應(yīng)用條件,包括從清潔到中等負載的各種工藝。模塊化設(shè)計允許用戶對 iGX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內(nèi)的多種安裝選項。
iGX 干泵包括以太網(wǎng)連接功能,允許通過網(wǎng)頁查看主要數(shù)據(jù),另外還包括一套全面的網(wǎng)絡(luò)選項,可確保泵持續(xù)運轉(zhuǎn)。
iGX 泵的峰值速度范圍很寬,并可以改變以適合各種應(yīng)用條件,包括從清潔到中等負載的各種工藝。模塊化設(shè)計允許用戶對 iGX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內(nèi)的多種安裝選項。
應(yīng)用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
氧化物腐蝕
硅腐蝕
金屬腐蝕
iGX600N 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A
iGX600N 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A
功能和優(yōu)勢
- 低運行成本
- 與 iL/iH 干泵相比,設(shè)施成本Z多可降低 50%
- 無需預(yù)防性維護
- 靈活的安裝選項
- 小巧輕便,便于安裝
- 工具上、近程或遠程
- 可以改進工具吞吐量
- 可用的Z快的負載鎖定泵之一
- 全程一致的泵送性能
- 在 50 和 60 Hz 下抽速相同
- 降低了環(huán)境噪音
- 僅 55 dB(A)
- 峰值速度范圍寬
- 100、300、600 和 800 m3h-1
技術(shù)數(shù)據(jù)
峰值速度 | 620 m3h-1 |
365 cfm | |
10333 l min-1 | |
極限壓力 | 7.00E-04 mbar |
5.25E-04 Torr | |
0.07 Pa | |
700 Torr 排氣壓力下的極限 | |
極限 | 1.6 kW |
AUC(有源設(shè)備控制器) | 0.05 kW |
水入口* | 2 slm |
氮 | 4 或 14 slm |
占地面積(不包括排氣裝置) | 0.20 m2 |
重量 | 220 kg |
進氣口連接 | ISO100 |
出口連接 | NW25 |
極限噪音 | < 55 dB(A) |
* 需要恒流閥附件。