三坐標(biāo)三軸導(dǎo)軌采用全天然花崗巖四面全環(huán)抱式矩形結(jié)構(gòu)，配上高精度自潔式預(yù)應(yīng)力氣浮軸承，是確保機(jī)器精度長(zhǎng)期穩(wěn)定的基礎(chǔ)，同時(shí)軸承受力沿軸向方向，受力穩(wěn)定均衡，有利于保證機(jī)器硬件壽命。

　　三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x機(jī)型介紹：

　　結(jié)構(gòu)型式：三軸花崗巖、四面全環(huán)抱的德式活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)

　　傳動(dòng)方式：直流伺服系統(tǒng) 預(yù)載荷高精度空氣軸承

　　長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW開(kāi)放式光柵尺，分辨率為0.1μm

　　測(cè)頭系統(tǒng)：雷尼紹控制器、雷尼紹測(cè)頭、雷尼紹測(cè)針

　　機(jī) 臺(tái)：高精度（00級(jí)）花崗巖平臺(tái)

　　使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h

　　空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa

　　空氣流量：25 L/min

　　長(zhǎng)度精度MPEe： ≤2.1 L/350 (μm)

　　探測(cè)球精度MPEp： ≤2.1μm

　　固定橋架型三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x介紹：

　　固定橋架型，軸為主軸在垂直方向移動(dòng)，廂形架導(dǎo)引主軸沿著垂直軸的水平橫梁上做方向移動(dòng)。橋架(支柱)被固定在機(jī)器本體上，測(cè)量臺(tái)沿著水平平面的導(dǎo)軌作軸方向的移動(dòng)，且垂直于和軸。每軸皆由馬達(dá)來(lái)驅(qū)動(dòng)，可確保位置精度，此機(jī)型不適合手動(dòng)操作。

　　單支柱測(cè)量臺(tái)移動(dòng)型三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x介紹：

　　單支柱測(cè)量臺(tái)移動(dòng)型，軸為主軸在垂直方向移動(dòng)，支柱上附有軸導(dǎo)槽，支柱被固定在測(cè)量?jī)x本體上。測(cè)量時(shí)，測(cè)量臺(tái)在水平面上沿著軸和軸方向作移動(dòng)。

　　單支柱移動(dòng)型三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x介紹：

　　單支柱移動(dòng)型，軸為主軸在垂直方向移動(dòng)，支柱整體沿著水平面的導(dǎo)槽在軸上移動(dòng)，且垂直軸，而軸連接于支柱上。測(cè)量臺(tái)沿著水平面的導(dǎo)槽在軸上移動(dòng)，且垂直軸和軸。此型測(cè)量臺(tái)面、支柱等具很好的剛性，因此變形少，且各軸的線性刻度尺與測(cè)量軸較接近，以符合阿貝定理。

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