光刻膠涂布試驗(yàn)機(jī)簡(jiǎn)單介紹：
狹縫式涂布試驗(yàn)機(jī)由山東安尼麥特儀器有限公司精心研制高精度精密型涂布試驗(yàn)機(jī)，本機(jī)主要應(yīng)用于蓋板玻璃的各種涂膠作業(yè)而開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)的專(zhuān)用裝置，同時(shí)也可以用于其他類(lèi)似材料的涂布。本涂布試驗(yàn)機(jī)，底板采用微孔陶瓷吸附平臺(tái)，同時(shí)采用非接觸式狹縫式涂布頭，通過(guò)進(jìn)料壓力，狹縫寬度調(diào)節(jié)，以及狹縫頭與底板間隙三個(gè)因數(shù)控制濕膜厚度，同時(shí)軟件系統(tǒng)增加了高度調(diào)節(jié)與反饋系統(tǒng)，大大提高了涂布精度與均勻性。
應(yīng)用場(chǎng)景：針對(duì)微米級(jí)特別是納米及亞微米級(jí)功能性涂層的涂布試驗(yàn)、墨水調(diào)試、工藝研究、小規(guī)模制樣研發(fā)等。
涉及行業(yè)：包括水凝膠、液態(tài)金屬、智能包裝材料、光電材料、光刻膠、功能涂層、微電子及半導(dǎo)體封裝等大面積涂布制備，以及氫燃料電池膜電極、電解水制氫膜電極、鋰電池、各種活性催化劑、異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池、薄膜太陽(yáng)能電池、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池、有機(jī)太陽(yáng)能電池、OLED柔性穿戴器件、有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管,導(dǎo)電聚合物,納米線和納米管,二維材料,有機(jī)發(fā)光二極管和鈣鈦礦發(fā)光二極管、鈣鈦礦光伏電池、鋰離子電池的電解質(zhì)和電極、染色敏感性太陽(yáng)能電池、電子皮膚等器件的制備。
光刻膠涂布試驗(yàn)機(jī)主要技術(shù)參數(shù)
1.工藝流程： 手動(dòng)放料--刮涂--手動(dòng)取料，依次循環(huán)
2.設(shè)備結(jié)構(gòu)：封閉式
3.陶瓷吸附規(guī)格： 工作區(qū)域 ① 450mm(W)×550mm(L)。 ② 155.21mm(W)×136.2mm(L)。 可以獨(dú)立工作（其他工作區(qū)域可選）
4.適用玻璃厚度范圍：0.03-1.5mm
5.涂膠工作臺(tái)高度：900±20mm可調(diào)整
6.適用涂布液：各種液態(tài)光學(xué)膠或感光膠
7.膠體粘度：5cps～6000cps （23±2℃時(shí)）。 （不同粘度范圍需以不同厚度Shim
片對(duì)應(yīng)）。
8.涂布干膜厚度范圍：2～800um。 （根據(jù)涂布液固含量不同厚度范圍有波動(dòng)）
9.有效涂布范圍內(nèi)涂布均勻性：3%-5%（除去涂布范圍周邊5-10mm之內(nèi)部）。
10. 涂布寬度：依玻璃基板尺寸及底部貼PET膜的預(yù)留無(wú)效邊而定，用不同開(kāi)口的Shim片對(duì)應(yīng)。
11. 涂布有效范圍：玻璃基板整面有效，無(wú)效區(qū)為基板底部PET 膜四周多出的部分。
12. 機(jī)內(nèi)凈化：機(jī)臺(tái)頂部FFU上吹風(fēng)，機(jī)臺(tái)底部預(yù)留抽風(fēng)口。
13. FFU安裝位置：設(shè)備頂部
14.基板厚度確認(rèn)：測(cè)厚儀測(cè)量值（基板為含PET底膜厚度的整體厚度）。
15.涂布方式：龍門(mén)式狹縫刮膠涂布方式。
16. 刮膠驅(qū)動(dòng)：直線電機(jī)/伺服電機(jī)可選 高度調(diào)整電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)
17.升降行程：150mm
18. 涂膠厚度檢測(cè)：Keyence感應(yīng)器非接觸檢測(cè)。（選配）
19. 涂布GAP控制精度：進(jìn)料段Keyence測(cè)厚儀控制涂膠Gap，檢測(cè)精度±5微米
20.平臺(tái)平面度：10-15um。
21.平臺(tái)材質(zhì)：多孔陶瓷真空平臺(tái)。
22.平臺(tái)有效尺寸：450mm×550mm。
23.真空區(qū)域：2個(gè) 可獨(dú)立工作
24.吸附平臺(tái)框架材質(zhì)：不銹鋼
25.刮刀數(shù)量：2組(1組大尺寸500X120X100mm、1組小尺寸205x120x100mm）。
26.狹縫刮刀尺寸：大尺寸500X120X100mm、小尺寸205x120x100mm）。
27.刮刀材質(zhì)：630不銹鋼
28.墊片數(shù)量：每個(gè)狹縫涂布頭標(biāo)配墊片2張（墊片厚度客戶自己選擇）
29.注膠管路：兩套管路系統(tǒng)，對(duì)應(yīng)一組泵（一套管路打樣測(cè)試使用，另外一套管路量產(chǎn)使用）。
30.進(jìn)膠方式：伺服計(jì)量泵 齒輪泵適5-9000cps粘度膠體）。/注射泵式上料可選
31.計(jì)量泵流量范圍：1.8-21.6ml/min
32.計(jì)量泵電機(jī)參數(shù)： 臺(tái)達(dá)伺服電機(jī) /0.4KW/220V/3000rpm
33.計(jì)量泵結(jié)構(gòu)： 電機(jī)/減速機(jī)/齒輪泵/控制系統(tǒng)
34.計(jì)量泵控制方式：7寸觸摸屏
35.刮膠預(yù)涂機(jī)構(gòu)：涂布前手動(dòng)無(wú)塵清潔刀口。
36.刮刀預(yù)干浸槽： 可移動(dòng)接料盒。
37.真空消泡功能 ：有
38.真空消泡罐參數(shù)：2L 不銹鋼桶體，透明觀察蓋。
39.進(jìn)膠量控制：HMI上設(shè)定伺服泵參數(shù)控制進(jìn)膠量。
40.下機(jī)架材料：鋁合金框架或SS41#表面靜電烤粉。
41.下封板材料：不銹鋼亮面板。
42.上機(jī)架材料：SUS304型材或鋁合金型材機(jī)架。
43.上機(jī)架封板：透明PC門(mén)葉封板。
44. 面板控制：PLC＋HMI（觸摸屏人機(jī)介面）控制
45.平臺(tái)吸附真空泵：采用水循環(huán)真空泵
46.涂布速度：1-200mm/min
47.電源電壓：220V 50Hz 800W
設(shè)備主要工作系統(tǒng)及參數(shù)：
1、機(jī)械結(jié)構(gòu) | 機(jī)架 | 鋼件防銹處理/不銹鋼/鋁合金材料 |
零件 | 軸承SKF/NSK | |
絲桿，導(dǎo)軌 | 絲桿±0.05 mm | |
2、電控系統(tǒng) | 控制系統(tǒng) | PLC |
觸摸屏 | 七寸 | |
電網(wǎng)穩(wěn)定 | 電源濾波器 | |
電源保護(hù) | 漏電斷路器 | |
交流接觸器 | 施耐德 | |
步進(jìn)電機(jī) | 臺(tái)達(dá) | |
接近開(kāi)關(guān) | 歐姆龍 | |
直流電源供應(yīng) | 明緯 | |
Sensor | 歐姆龍 | |
3、氣動(dòng)系統(tǒng) | 氣缸 | SMC 或同規(guī)格 |
壓力控制 | 亞德客 | |
壓力調(diào)節(jié) | 亞德客 | |
壓力指示 | 亞德客 | |
電磁閥 | 亞德客 | |
油霧分離器 | 亞德客 | |
4、真空系統(tǒng) | 真空泵 | 水循環(huán)式 |
5、計(jì)量泵系統(tǒng) | 齒輪泵 | / |
設(shè)備主要參數(shù)：
1、生產(chǎn)參數(shù) | 玻璃尺寸 | 450mm*550mm | |
適合玻璃厚度 | 30um-1.1mm厚度 | ||
涂布整面均勻性 | 3%-5% | ||
2、機(jī)床規(guī)格參數(shù) | 外形尺寸 | （L*W*H） (L)1500mm×(W)900mm×(H)2000mm可自己設(shè)定 | |
工作臺(tái)面高度 | 700-800mm | ||
重量 | 400Kg | ||
設(shè)計(jì)總功率 | 900W | ||
3、機(jī)臺(tái)周邊配套 | 電源要求 | 機(jī)器電源 AC220V±10%、50Hz、5KW | |
環(huán)境要求 | 溫 度 22 ± 2 ℃ 恒 溫 無(wú) 塵 車(chē) 間 ; 相 對(duì) 濕 度 ： 40~85%RH | ||
無(wú)塵車(chē)間潔凈度等級(jí) | 百級(jí)或以上 | ||
壓縮空氣 | 壓力：0.5~0.8Mpa， 干燥氣源 | ||
4、其它 | 文件資料 | 設(shè)備規(guī)格書(shū)/程序 | 各1份 |
整機(jī)質(zhì)保 | 12個(gè)月 | ||
