工作環(huán)境更好,環(huán)境影響低:
安靜運(yùn)轉(zhuǎn)操作簡(jiǎn)單:
智能且易于使用控制無(wú)污染且不需要處理油:
采用密封結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了無(wú)潤(rùn)滑劑真空環(huán)境低擁有 成本:
長(zhǎng)維修間隔和低功耗更快的制程:
出色的蒸汽處理能力真空外殼中 不需要使用潤(rùn)滑劑,密封可保證的清潔和干燥真空, 防止交叉污染
無(wú)大氣壓到 真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能 以更低溫度運(yùn)行,使用時(shí)間更長(zhǎng)
簡(jiǎn)單的單側(cè) 滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合,只需Z低程度的 特殊工具,就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù),因此可降低運(yùn)行成本, 盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
改進(jìn)了電機(jī)和 傳動(dòng)效率,可降低功耗和運(yùn)行成本
*的接口 提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過(guò) USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn) 遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視
一般清潔泵送
電子掃描顯微鏡 (SEM)
射束線和高能物理
前級(jí)渦輪泵
超高速離心機(jī)
概述
應(yīng)用
一般清潔泵送應(yīng)用
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
前級(jí)渦輪泵
超高速離心機(jī)
覆層
低溫學(xué)
脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹(shù)脂
蒸餾/萃取/過(guò)濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負(fù)載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
研發(fā)
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB(離子束維修)
溶劑回收
表面科學(xué)儀器
nXDS10iC 100 - 127 V,200 - 240 V,1 相,50 - 60 Hz
A
特性與優(yōu)勢(shì)
真空外殼中不需要使用潤(rùn)滑劑,密封可保證的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無(wú)大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運(yùn)行,使用時(shí)間更長(zhǎng)
無(wú)需更換潤(rùn)滑油,也就消除了處置被污染的潤(rùn)滑油所需的費(fèi)用
簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸設(shè)計(jì)意味著例行維護(hù)工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成,降低運(yùn)行成本,盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
用于實(shí)現(xiàn)蒸汽泵送的氣鎮(zhèn)功能