掃描電鏡是一種用途廣泛的科學研究儀器,是通過電子束來成像的,,其放大倍數(shù)可達幾十萬倍,分辨率可達納米級別,是形貌和成分分析領域極其重要的一種工具。
掃描電鏡測試原理:
掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面,激發(fā)出樣品表面的各種物理信號,再利用不同的信號探測器接受物理信號轉(zhuǎn)換成圖像信息,可對陶瓷、金屬、粉末、塑料等樣品進行形貌觀察和成分分析。
掃描電鏡測試項目:
SEM:形貌觀察,利用背散射電子(BEI)和二次電子(SEI)來成像,可放大倍率5-100萬倍 。
EDS:成分分析(半定量),通過特征X-RAY獲取樣品表面的成分信息,測量Be及以上元素。
樣品要求:
1.試樣為不同大小的固體(塊狀、薄膜、顆粒),并可在真空中直接進行觀察。
2.試樣應具有良好的導電性能,不導電的試樣,其表面一般需要蒸涂一層金屬導電膜
掃描電鏡的運用:
掃描電鏡相關(guān)測試常和切片技術(shù)結(jié)合一起做相關(guān)測試,如:
IMC觀察
錫須觀察
表面成分分析
表面異物分析
顆粒物成分分析
微觀尺寸量測
金屬鍍層/涂層厚度檢測