詳細描述: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
儀器適用范圍: 伴隨著半導體工業(yè)的發(fā)展,我國半導體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸(200mm),MA3000就是為了適應大芯片檢測而開發(fā)的新產(chǎn)品。MA3000配備反射照明光學系統(tǒng),反射式暗場和偏光系統(tǒng),使它可用在相同尺寸的半導體掩模板,液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗場合。 儀器特性:
高質(zhì)量的光學系統(tǒng),確保儀器在對各試樣檢驗時均能獲得良好的成像質(zhì)量。 無限遠校正像差長距平場消色差物鏡 MA3000配用了本公司開發(fā)的視場數(shù) 22mm無限遠校正像差超長工作距離平場消色差系列物鏡。對各種被檢測的試樣均能獲得優(yōu)良的成像質(zhì)量。物鏡的超長工作距離,可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡 在反射照明光路中,明場、暗場和偏光可快速轉(zhuǎn)換 MA3000配有明場和暗場共用的物鏡,只要拉動拉桿,即可明場暗場轉(zhuǎn)換;只需插入或拉出起偏器和檢偏器,即可偏光轉(zhuǎn)換,操作十分方便。 采用完善的柯拉照明系統(tǒng) MA3000采用完善的柯拉照明系統(tǒng),在整個視場內(nèi)照明均勻。 MA3000大平臺工業(yè)顯微鏡配套表
注:●為件,○為可選件。 |