? 光電組件生產(chǎn)企業(yè)包括LED、OLED、LCD、光伏太陽能等的生產(chǎn)制造企業(yè)。由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)，廢氣排放也以揮發(fā)為主，與半導(dǎo)體制造工藝相比。半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的廢氣較為簡單，主要是酸性氣體、環(huán)氧樹脂及粉塵，酸性廢氣主要產(chǎn)生于電鍍等工藝；烘烤廢氣則產(chǎn)生于晶粒粘貼、封膠后烘烤；劃片機(jī)在晶片切割中，產(chǎn)生含微量矽塵的廢氣，非甲烷總烴廢氣處理--上海簡單介紹非甲烷總烴廢氣處理方法，非甲烷總烴是什么，它是屬于VOCs廢氣。
缺點(diǎn)是設(shè)備龐大、后期成本大、吸附流程復(fù)雜、容易因?yàn)槲娇諝庵械乃魵舛?。在?dāng)前的工程應(yīng)用中，一般將吸附法與蒸汽脫附或催化燃燒工藝結(jié)合使用，吸收法，吸收法是按照其原理可以分為物理吸附和化學(xué)吸附，物理吸收是利用不同氣體在吸附劑的溶解度的不同，從而將有害氣體成分去除的方法，常用于VOCs的去除；化學(xué)吸吸收是利用溶液中吸附劑與有害氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而將有害氣體從氣態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)槠渌麪顟B(tài)而去除廢氣的方法，常用于無機(jī)廢氣的去除。例如硫化物。氮氧化物和氨氣的吸收等。
