SAMCO等離子刻蝕機(jī)RIE-300NR是一種理想的反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng),適用于加工?300mm晶圓和多晶圓(?3"×12,?4"×8等),具有優(yōu)異的均勻性。該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)旨在限度地減少工廠空間需求,提高產(chǎn)量,限度地延長正常運(yùn)行時(shí)間,并通過可靠的硬件和便捷的服務(wù)降低擁有成本。
主要特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
加工范圍:?350 mm (?3" x 12, ?4" x 8, ?12" x 1)
用戶友好的觸摸屏界面
全自動 "一鍵式 "操作,可手動操作。
優(yōu)化的噴淋頭可提供工藝氣體的均勻性。
減少停留時(shí)間的近距離耦合氣體輸送箱。
對稱的疏散設(shè)計(jì)與TMP相結(jié)合,形成了有效的流動。
自動壓力控制,可精確控制工藝壓力,不受氣體流量影響。
干式泵和系統(tǒng)布局便于維護(hù)。
應(yīng)用
去除夾層膜,用于?300mm的失效分析。
蝕刻Si、SiO2、SiN和聚硅氧烷。
樹脂的蝕刻和脫膠
光阻劑的灰化、剝離和除塵。
表面改性(潤濕性和粘附性的改善