掃描探針顯微鏡/壓電響應(yīng)力(PFM)
壓電響應(yīng)力顯微術(shù) (PFM)
生物材料與鐵電材料等的成像
許多材料的機(jī)電耦合行為,如生物基細(xì)胞膜和蛋白質(zhì),鐵電和壓電材料從現(xiàn)
在開(kāi)始都可以用壓電響應(yīng)力顯微鏡來(lái)表征。
這一成像技術(shù)在開(kāi)發(fā)基于鐵電疇變等的新型電子設(shè)備方面引起了極大的關(guān)
注,在對(duì)將來(lái)電腦存儲(chǔ)等領(lǐng)域的諸多應(yīng)用方面的發(fā)展有著巨大的潛力。
壓電響應(yīng)力顯微術(shù)是在掃描探針顯微鏡的基礎(chǔ)上,在接觸式掃描過(guò)程中對(duì)探
針施加一個(gè)交流電壓,利用材料自身逆壓電效應(yīng)來(lái)探測(cè)樣品表面形變的一類(lèi)技術(shù)
總稱(chēng)(見(jiàn)圖1)。壓電響應(yīng)力顯微術(shù)已經(jīng)成為鐵電材料研究的重要手段,廣泛應(yīng)
用于納米尺度疇結(jié)構(gòu)的三維成像、疇結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)研究、疇結(jié)構(gòu)控制和微區(qū)壓電、
鐵電、漏電等物理性能表征等領(lǐng)域。其的優(yōu)勢(shì)就是同時(shí)具有的分辨率
10-20 nm)和靈敏度 pm/V)。