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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

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公司名稱上海騏銳信息科技有限公司
品牌
型號
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廠商性質(zhì)其他
更新時間2023/6/20 19:14:16
訪問次數(shù)268

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上海騏銳信息科技有限公司是一家系統(tǒng)集成科貿(mào)企業(yè)。公司專業(yè)提供國產(chǎn)、進(jìn)口精密測試儀器及系統(tǒng)集成解決方案，擁有一支專業(yè)技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為新老客戶提供完善的售前售后服務(wù)。公司主要服務(wù)于通訊、電力、電子、石化、工業(yè)自動化、科研教學(xué)等行業(yè)。公司全體同仁堅(jiān)持誠信經(jīng)營，時刻為客戶提供高效滿意的服務(wù)，以獲取于客戶長期愉快的合作，實(shí)現(xiàn)雙贏。公司與以下國內(nèi)外廠商建立了長期合作關(guān)系：日本安立公司，美國泰克 Tektronix 公司南京盛普 Sample 公司美國福祿克 Fluke 公司北京普源精電 Rigol 公司美國安捷侖 Agilent 公司中國臺灣茂迪 Motech 公司美國艾法斯 Aeroflex 公司中國臺灣固緯 Goodwill 公司美國吉時利 Keithley 公司日本巖崎 Iwatsu 公司美國國家儀器 NI 公司日本愛德萬 Advantest 公司美國 Magtrol 公司德國惠美 Hameg 公司韓國 Tescom 公司安徽 41 所韓國金進(jìn) Jungjin 公司常州同惠

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產(chǎn)品簡介在線詢價

電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜?？烧舭l(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國牛津真空公司生產(chǎn)，臺式設(shè)計(jì)、軟件自動操控、高性價比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息

品牌	自營品牌	產(chǎn)地類別	進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,電子,印刷包裝,電氣

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)
電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜?？烧舭l(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國牛津真空公司生產(chǎn)，臺式設(shè)計(jì)、軟件自動操控、高性價比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。

技術(shù)規(guī)格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋轉(zhuǎn)：0~10rpm；
- 電子束源：Telemark電子束源，單袋或多袋電子束源可選；
- 熱蒸發(fā)源：多配置2套熱蒸發(fā)舟(選配)；
- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；
- 泵：前級干泵，分子泵；
- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、遠(yuǎn)程支持；
- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(QCM)，光學(xué)監(jiān)測，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制；
- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；

關(guān)鍵詞：鍍膜機(jī)