1.技術(shù)參數(shù):
輸入電壓 | AC220V±10%,50Hz |
工作電壓 | DC2400V |
功率(主機(jī)與機(jī)械泵) | 500W |
工作原理 | 直流濺射 |
可選靶材 | 金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬 |
真空泵 | 兩級(jí)直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s |
真空腔 | φ128×130mm |
樣品杯 | φ90×1 / φ25×4 / φ15×6 |
整機(jī)尺寸(長(zhǎng)×寬×高) | 424×271×255(mm) |
重量(主機(jī)) | 11 kg |
工作環(huán)境 | 溫度 5~40℃,濕度<60% |
存儲(chǔ)環(huán)境 | 溫度-10~60℃,濕度<80% |
工作氣體 | Air / Ar |
保護(hù)功能 | 過(guò)流、真空雙保護(hù) |
2.處理效果:(金靶,顆粒尺寸20~50nm)
處理前
處理后