三坐標(biāo)測量儀是指在一個六面體的空間范圍內(nèi),能夠表現(xiàn)幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器,又稱為三坐標(biāo)測量機(jī)或三坐標(biāo)量床。三坐標(biāo)測量儀又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器,可在三個相互垂直的導(dǎo)軌上移動,此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號,三個軸的位移測量系統(tǒng)(如光柵尺)經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)(x,y,z)及各項(xiàng)功能測量的儀器”。三坐標(biāo)測量儀的測量功能應(yīng)包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。
單支柱測量臺移動型三坐標(biāo)測量儀介紹:
單支柱測量臺移動型,軸為主軸在垂直方向移動,支柱上附有軸導(dǎo)槽,支柱被固定在測量儀本體上。測量時,測量臺在水平面上沿著軸和軸方向作移動。
軸移動懸臂型三坐標(biāo)測量儀介紹:
軸移動懸臂型,軸為主軸在垂直方向移動,廂形架導(dǎo)引主軸沿著垂直軸的水平懸臂梁在軸方向移動,懸臂梁沿著在水平面的導(dǎo)槽在軸方向移動,且垂直于軸和軸。此型為三邊開放,容易裝拆工件,且工件可以伸面即可容納較大工件,但因懸臂會造成精度不高。
移動橋架型三坐標(biāo)測量儀介紹:
移動橋架型,為常用的三坐標(biāo)測量儀的結(jié)構(gòu),軸為主軸在垂直方向移動,廂形架導(dǎo)引主軸沿水平梁在方向移動,此水平梁垂直軸且被兩支柱支撐于兩端,梁與支柱形成“橋架”,橋架沿著兩個在水平面上垂直和軸的導(dǎo)槽在軸方向移動。因?yàn)榱旱膬啥吮恢е?,所以可得到小的撓度,且比懸臂型有較高的精度。
三坐標(biāo)測量儀機(jī)型介紹:
結(jié)構(gòu)型式:三軸花崗巖、四面全環(huán)抱的德式活動橋式結(jié)構(gòu)
傳動方式:直流伺服系統(tǒng) 預(yù)載荷高精度空氣軸承
長度測量系統(tǒng):RENISHAW開放式光柵尺,分辨率為0.1μm
測頭系統(tǒng):雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針
機(jī) 臺:高精度(00級)花崗巖平臺
使用環(huán)境:溫度(20±2)℃,濕度40%-70% ,溫度梯度1℃/m,溫度變化 1℃/h
空氣壓力:0.4 MPa - 0.6 Mpa
空氣流量:25 L/min
長度精度MPEe: ≤2.1 L/350 (μm)
探測球精度MPEp: ≤2.1μm
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