產(chǎn)品型號(hào)

      1200℃雙溫立式爐OTF-1200X-4-VT-II

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體結(jié)構(gòu)，帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度<60℃。

2、開啟式爐體更方便于爐管的更換。

3、采用高純氧化鋁作為爐膛材料，其表面涂有美國進(jìn)口1750℃氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時(shí)延長使用壽

　　命。

4、采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，可設(shè)置30段升降溫程序。

5、爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭、真空計(jì)、閥門。

6、上端密封法蘭內(nèi)部焊有不銹鋼勾，用于懸掛樣品。

7、國家，并已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

    1、電源：AC 208V-240V  50Hz/60Hz

     2、功率：3KW

     3、石英管：外徑Ø100mm，內(nèi)徑Ø95mm，長1000mm

     4、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯，可延長期使用壽命

     5、加熱區(qū)域：總長400mm，溫區(qū)I為200mm，溫區(qū)II為200mm（兩個(gè)溫區(qū)可設(shè)置同樣的溫度）

     6、工作溫度：每個(gè)溫區(qū)1200℃（<1h），連續(xù)工作1100℃

     7、加熱速率：≤20℃/min

     8、控溫精度：±1℃

    9、熱電偶：K型熱電偶進(jìn)行測溫

    10、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵），10^-5torr（分子泵）

    11、漏氣率：<5mtorr/min

產(chǎn)品規(guī)格

　尺寸：不含移動(dòng)架550mm×380mm×520mm，含移動(dòng)架600mm×600mm×1200mm

　重量：80kg（不含移動(dòng)架）

可選配件

    1、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

    2、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)

    3、KF25轉(zhuǎn)接頭（可增加抽氣速率，獲得較高的真空）

    4、VCR雙卡套接頭（可工作在惰性氣體或還原氣體條件下）

    5、高溫絲（摻鉬鐵鉻鋁，可達(dá)1100℃）

注意事項(xiàng)

    1、爐管內(nèi)的正壓不可高于0.02Mpa。

    2、由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。建議在本司選購減壓閥。本司減壓

　　　閥量程為0.01Mpa-0.1Mpa，使用時(shí)會(huì)更加精確安全。

    3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。

    4、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

    5、石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃。

    6、對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)

　　　注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂、法蘭飛出

　　　等）。

質(zhì)量認(rèn)證

   1、CE認(rèn)證。

   2、所有電器元件（>24V）都通過UL、MET、CSA認(rèn)證。

   3、若用戶承擔(dān)認(rèn)證費(fèi)用，本司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TIV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

樣品淬火