產(chǎn)品簡介:GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理(直流二極濺射鍍膜是指在真空環(huán)境中利用粒子轟擊靶材產(chǎn)生的濺射效應(yīng),使得靶材原子或分子從固體表面射出,在基片上沉積形成薄膜的過程。屬于物理 氣相沉積(PVD)制備薄膜技術(shù)的一種。)設(shè)計而成的簡單、可靠、經(jīng)濟的鍍膜設(shè)備。GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀特別之處是在一個真空室內(nèi)安裝了三個靶,旋轉(zhuǎn)樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此,適用于實驗室各種復(fù)合膜樣品的制備,以及非導(dǎo)體材料實驗電極的制作。該設(shè)備體積小,節(jié)省實驗室空間,操作簡單,尤其適合實驗室使用。
產(chǎn)品型號 | GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀 | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) 4、工作臺:尺寸600mm×600mm×00mm,承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置:不需要 | ||
主要特點 | 1、設(shè)有真空表、濺射電流表,可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。 2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得鍍膜效果。 3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計,可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。 5、根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。 6、已通過CE認證。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、靶:Ø45mm 2、真空室:Ø160mm×120mm 3、真空度:≤4×10-2mbar 4、靶位:3個 5、電流:50mA 6、可設(shè)定最長時間:900s 7、微型真空氣閥:連接Ø3mm軟管 8、電壓:1600V DC 9、機械泵:2L/s | ||
標準配件 | 1 | 金靶材 | 1個 |
2 | 銅靶材 | 1個 | |
3 | 鋁靶材 | 1個 | |
4 | 進氣針閥 | 1個 | |
5 | 保險絲 | 2個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 |