產(chǎn)品特色
● 多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
● 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
● 耐用。21Q系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性，我們可以為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。
精度升級(jí)
量程為10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程（取值）
測(cè)量和控制范圍 0.1 ~ 99%滿量程
重復(fù)性 ± 0.1%滿量程
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差
± 0.01%滿量程/ Atm壓力差
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃溫差
± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm壓力差
技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程 從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（）
測(cè)量和控制范圍 0.5% ~ 99%滿量程
顯示流量 高達(dá)128%滿量程（取決于氣體）
可控流量 102.4%滿量程
顯 示 屏 帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
精 度 ± 2%滿量程 精度升級(jí)見上段
重 復(fù) 性 ± 2%滿量程
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移 0.02% 滿量程/ ℃/ Atm
響應(yīng)時(shí)間 優(yōu)于100 ms
預(yù)熱時(shí)間 ＜1s
標(biāo)定工況 25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項(xiàng)至100℃）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ~ 99%
工作壓力 320 psia
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào)40Hz@19200波特率；
模擬信號(hào)：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA輸出）
供電電流 0.250 A
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 303和302不銹鋼、Viton®、熱固化硅橡膠、玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚、熱固化環(huán)氧樹脂、鋁、金、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃。如果您申請(qǐng)需要其它材料，請(qǐng)聯(lián)系我們。
過程連接 詳情參考?jí)簱p表
安裝方式 對(duì)位置無要求
防護(hù)等級(jí) IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
*如選Profibus，則無模擬信號(hào)，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
