一、大型電子探針顯微鏡應(yīng)用原理：  

（1）KT-Z160T-RL該探針臺(tái)的承載臺(tái)為60x60不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面最1高可升溫到最1高350℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)。  

（2）其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；用戶(hù)可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z方向行程，通過(guò)顯微鏡觀(guān)察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。  

二、技術(shù)組織規(guī)格：  

1．腔體材質(zhì)：304不銹鋼  

2．上蓋開(kāi)啟：鉸鏈側(cè)開(kāi)  

3．加熱臺(tái)材質(zhì)：304不銹鋼  

4．內(nèi)腔體尺寸：φ160x90mm  

5．觀(guān)察窗尺寸：Φ70mm  

6．加熱臺(tái)尺寸：φ60mm  

7．觀(guān)察窗熱臺(tái)間距：75mm  

8．加熱臺(tái)溫度：-196-350℃  

9．加熱臺(tái)溫控誤差：±1℃  

10．真空度：機(jī)械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa  

11．允許正壓：≤0.1MPa  

12．真空抽氣口：KF25真空法蘭  

13．氣體進(jìn)氣口：3mm-6mm卡套接頭  

14．電信號(hào)接頭：SMA轉(zhuǎn)BNCX4  

15．電學(xué)性能：絕緣電阻≥4000MΩ介質(zhì)耐壓≤500V漏電流≤-10次方安培  

16．探針數(shù)量：4探針  

17．探針材質(zhì)：鍍金鎢針  

18．探針尖：10μm  

19．X軸移動(dòng)行程：30mm±15mm  

20．X軸控制精度：≤0.01mm  

21．Y軸移動(dòng)行程：13mm±12.5mm  

22．Y軸控制精度：≤0.01mm  

23．Z軸移動(dòng)行程：13mm±12.5mm  

24．Z軸控制精度：≤0.01mm  

25．顯微鏡類(lèi)別：物鏡  

26．物鏡倍數(shù)：0.7-4.5倍  

27．工作間距：90mm  

28．相機(jī)：sony高清  

29．像素：1920※1080像素  

三、企業(yè)概括：  

（1）鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開(kāi)發(fā)、制造、經(jīng)營(yíng)為一體的材料設(shè)備創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國(guó)內(nèi)大多數(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及科1學(xué)1院校，科探儀器已經(jīng)成為老師同學(xué)歡迎和信任的品牌之一。  

（2）公司以科技創(chuàng)新為主，服務(wù)社會(huì)為宗旨，積極設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)新型材料制備設(shè)備，奉獻(xiàn)于教育和科學(xué)，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累，擁有熱工，制造，控制相關(guān)技術(shù)10余項(xiàng)，為化學(xué)，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過(guò)和院校老師同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，形成了有效的信息，技術(shù)交流平臺(tái)，為科探儀器了解市場(chǎng)需求提供了強(qiáng)有力的支持！  

（3）目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐CVD供氣系統(tǒng)等離子清洗機(jī)小型離子濺射儀小型蒸鍍儀石英管真空封口大型電子探針顯微鏡半導(dǎo)體檢測(cè)等。主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷(xiāo)于各大院校，及材料研究所。  

（4）公司與國(guó)內(nèi)高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級(jí)工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力，科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。