一、大型電子探針顯微鏡半導(dǎo)體探針臺應(yīng)用原理：  

（1）KT-Z160T-RL該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面，臺面最1高可升溫到最1高350℃。真空腔體設(shè)計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)。  

（2）其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。  

二、技術(shù)組織規(guī)格：  

1．腔體材質(zhì)：304不銹鋼  

2．上蓋開啟：鉸鏈側(cè)開  

3．加熱臺材質(zhì)：304不銹鋼  

4．內(nèi)腔體尺寸：φ160x90mm  

5．觀察窗尺寸：Φ70mm  

6．加熱臺尺寸：φ60mm  

7．觀察窗熱臺間距：75mm  

8．加熱臺溫度：-196-350℃  

9．加熱臺溫控誤差：±1℃  

10．真空度：機械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa  

11．允許正壓：≤0.1MPa  

12．真空抽氣口：KF25真空法蘭  

13．氣體進氣口：3mm-6mm卡套接頭  

14．電信號接頭：SMA轉(zhuǎn)BNCX4  

15．電學性能：絕緣電阻≥4000MΩ介質(zhì)耐壓≤500V漏電流≤-10次方安培  

16．探針數(shù)量：4探針  

17．探針材質(zhì)：鍍金鎢針  

18．探針尖：10μm  

19．X軸移動行程：30mm±15mm  

20．X軸控制精度：≤0.01mm  

21．Y軸移動行程：13mm±12.5mm  

22．Y軸控制精度：≤0.01mm  

23．Z軸移動行程：13mm±12.5mm  

24．Z軸控制精度：≤0.01mm  

25．顯微鏡類別：物鏡  

26．物鏡倍數(shù)：0.7-4.5倍  

27．工作間距：90mm  

28．相機：sony高清  

29．像素：1920※1080像素  

三、企業(yè)概括：  

（1）鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開發(fā)、制造、經(jīng)營為一體的材料設(shè)備創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國內(nèi)大多數(shù)國家重點實驗室及科1學1院校，科探儀器已經(jīng)成為老師同學歡迎和信任的品牌之一。  

（2）公司以科技創(chuàng)新為主，服務(wù)社會為宗旨，積極設(shè)計開發(fā)新型材料制備設(shè)備，奉獻于教育和科學，經(jīng)過長期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累，擁有熱工，制造，控制相關(guān)技術(shù)10余項，為化學，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學研究提供了精良設(shè)備。公司通過和院校老師同學強強聯(lián)合，形成了有效的信息，技術(shù)交流平臺，為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持！  

（3）目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實驗電爐CVD供氣系統(tǒng)等離子清洗機小型離子濺射儀小型蒸鍍儀石英管真空封口大型電子探針顯微鏡半導(dǎo)體探針臺半導(dǎo)體檢測等。主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。  

（4）公司與國內(nèi)高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開放實驗室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴謹?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力，科學合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。