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離子束刻蝕系統(tǒng) Mill 150 德國scia Systems 羅茨風機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京歐唐科技發(fā)展有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/8/31 9:48:24
  • 訪問次數(shù)290
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北京歐唐科技發(fā)展有限公司(歐唐科技),成立于2007年,致力于光學精密制造與檢測領域,歐唐科技有著幾十年的光學領域研發(fā)經驗,與業(yè)內經驗豐富的專家保持良好的合作關系,可以為相關領域提供技術咨詢服務我們不僅代理儀器設備與軟件,同時也應客戶的需求,研發(fā)定制的儀器與裝置。
簡介sciaMill150適用于在多種材料復雜多層膜上的微結構刻蝕
離子束刻蝕系統(tǒng) Mill 150 德國scia Systems 羅茨風機 產品信息

簡介



scia Mill 150適用于在多種材料復雜多層膜上的微結構刻蝕。該系統(tǒng)對活性氣體相容,能夠進行反應蝕刻工藝以提高選擇性和刻蝕速率。由于其節(jié)省空間的設計,scia Mill 150是小規(guī)模生產和研發(fā)應用的理想選擇。


常規(guī)屬性



- 采用圓形離子源對全部樣品區(qū)域在惰性或反應氣體環(huán)境下進行刻蝕

- 可進行離子束刻蝕(IBE、IBM)、反應離子束刻蝕(RIBE)和化學輔助離子束刻蝕(CAIBE)

- 刻蝕角度調整:樣品臺可以旋轉且傾斜可調

- 可獲得的均勻性而無需修正擋板

- 通過反應氣體可以提高刻蝕速率,并控制刻蝕選擇性

- 通過基于SIMS(二次離子質譜)或光學的截止點探測技術控制工藝

- 可配備晶圓載具(wafer carrier)以適用不同尺寸基底

- 可以刻蝕光刻膠晶圓,具有良好的樣品冷卻配置


系統(tǒng)性能


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