日本愛(ài)發(fā)科ULVAC渦旋干式真空泵 DIS-251維修保養(yǎng)
特性:
? 雙繞式渦旋泵,含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
? 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
? 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
? 低振動(dòng)低噪音。
? 維護(hù)周期可通過(guò)計(jì)時(shí)表控制。
應(yīng)用:
? 分析設(shè)備 ? 氣體回收系統(tǒng) ? 涂料設(shè)備 | ? TMP 前級(jí)泵 ? 氦滲漏探測(cè)器 ? 半導(dǎo)體制造工藝 |
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