勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
1、穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快 速啟動(dòng),可保證膠厚度的一 致性和均勻性;
2、轉(zhuǎn)速在12000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)穩(wěn)定,美國國家標(biāo)準(zhǔn) 技 術(shù)研究院(NIST)認(rèn) 證過;
3、采用PLC控制,速度可調(diào)節(jié),在啟動(dòng)之后一般工藝先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)使膠攤開,然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn),步驟轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào);
4、數(shù)據(jù)模擬:勻膠實(shí)驗(yàn)時(shí)將一組設(shè)定的涂膠速度和時(shí)長數(shù)值輸入系統(tǒng),系統(tǒng)會(huì)據(jù)此計(jì)算出速度設(shè)定方案,帶有速度隨 時(shí)間變化的曲 線;
5、數(shù)據(jù)記錄:為了提 高實(shí)驗(yàn)的可重復(fù)性,設(shè)備會(huì)在數(shù)據(jù)記錄模式下,實(shí)時(shí)記錄下前一 次工藝過程的實(shí)驗(yàn)實(shí)際值,并將該組數(shù)據(jù)存儲(chǔ)并重復(fù)調(diào)用,達(dá)到近乎一 致的可重復(fù)性;
6、NPP材質(zhì)耐腐蝕及抗震;
一、勻膠機(jī)性能指標(biāo):
1、腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm;
3、轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-12,000rpm,
4、旋涂加速度:0-12000rpm/sec(空載);
5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差<±1 %;
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:<0.2rpm,重復(fù)性< 0.2rpm;
7、工藝時(shí)間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;
8、勻膠機(jī)材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方;
9、高精 度數(shù)碼控制器:PLC控制,設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。
10、程序控制:可存儲(chǔ)20個(gè)程序段,每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
11、分辨率:分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,美國國家標(biāo)準(zhǔn)技 術(shù)研究院(NIST)認(rèn) 證過的,并且不用再校準(zhǔn)!]
12、配套真空泵系統(tǒng):無 油型 220~240伏交流,50/60赫茲;
13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;
14、水平測(cè)試儀;
應(yīng)用領(lǐng)域:
鈣鈦礦太陽能電池Perovskite solar cells
有機(jī)太陽電池
OPV有機(jī)光伏
OLED有機(jī)發(fā)光二 極管
OFET & TFT有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管&薄膜晶體管
Graphene &2D石墨烯&二維材料
Substrates襯底
Materials材料