高純氫超純氫分析氦離子化氣相色譜儀

PDHID氦離子化氣相色譜儀工業(yè)發(fā)展推動(dòng)了氣體行業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)高純氣、超純氣、電子氣、特種氣體的需求也大大提升了，提升的不僅僅是用量，質(zhì)量要求也更加緊迫。氣體提純工藝和檢測(cè)成為了各大氣體生產(chǎn)單位需要緊迫解決的問題。對(duì)于氣體的檢測(cè)也隨著工業(yè)需求在逐步的向前推進(jìn)，氦離子化檢測(cè)器也越來(lái)越普遍地被應(yīng)用在高純氣、電子氣中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。高純氫 氦離子化氣相色譜儀是一款針對(duì)高純氣、超純氣和電子氣分析的儀器。

高純氫氦離子化氣相色譜儀是一款采用高靈敏度的氦離子檢測(cè)器進(jìn)行氣體痕量雜質(zhì)分析的氣相色譜儀，適用于氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中的雜質(zhì)分析。

采用原裝的進(jìn)口氦離子化檢測(cè)器和自動(dòng)切換閥的配合建立完整的分析流程，一次進(jìn)樣可完成常規(guī)雜質(zhì)的分離和檢測(cè)。將整個(gè)分析流程中可能出現(xiàn)的死體積控制到小，從而排除掉殘留氣體對(duì)分析的干擾，提高檢測(cè)的真實(shí)度。

自主研發(fā)的閥柱一體化加熱裝置，能夠減少閥與柱的連接管道，減少死體積，增加靈敏度與減少吹掃時(shí)間，檢測(cè)限可達(dá)ppb級(jí)。

壓力感應(yīng)自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng)，自動(dòng)化程度更高。能夠簡(jiǎn)化進(jìn)樣操作流程，并減少人員對(duì)進(jìn)樣誤差。

適用于分析標(biāo)準(zhǔn)

GB/T3634.2-2011 《純氫、高純氫和超純氫》      GB/T 14599-2008《純氧、高純氧和超純氧》

GB/T 8979-2008《純氮、高純氮和超純氮》            GB/T 4842-2006《氬》

GB/T 4844-2011《純氦、高純氦和超純氦》           GB/T 17873-1999《純氖》

GB/T 5829-2006《氪氣》                                              GB/T 5828-2006《氙氣》

HG/T 3633-1999《純甲烷》                                        GB 10621-2006《食品添加劑  液體二氧化碳》

GB/T 23938-2009 《高純二氧化碳》                        GB/T 28125.1-2011《空分工藝中危險(xiǎn)物質(zhì)的測(cè)定》

 GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》             GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》

GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》              GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》

GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》              GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》

GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》              GB/T 24469-2009《電子工業(yè)用氣體 5NHCL》

  GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》

GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 PH》        

GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》          

GB/T18867-2014《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》

 GB/T  28726-2012 《氣體分析 氦離子化氣相色譜法》

檢測(cè)種類和檢測(cè)限:

PDHID對(duì)部分雜質(zhì)的檢測(cè)限（ppb）

雜質(zhì)種類

儀器特點(diǎn)

高靈敏的氦離子化檢測(cè)器（PDHID）

系統(tǒng)配備氦離子化檢測(cè)器（PDHID），對(duì)H2、O2、N2、CH4、CO、CO2、等常規(guī)雜質(zhì)均有很高的線性響應(yīng)。這款檢測(cè)器是一種靈敏度高通用型檢測(cè)器，對(duì)幾乎所有無(wú)機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng)，特別適合高純氣體的分析，是能夠檢測(cè)至ng/g（ppb） 級(jí)的檢測(cè)器。新制定的大多數(shù)氣體產(chǎn)品的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中都規(guī)定采用氦離子化檢測(cè)器代替原有的熱導(dǎo)等檢測(cè)器，這大大提高了氣體產(chǎn)品的分析能力。

采用中心切割技術(shù)，實(shí)現(xiàn)儀器的高度自動(dòng)化

 采用VICI公司生產(chǎn)的吹掃型自動(dòng)十通閥完成中心切割與反吹技術(shù)，配合吹掃型自動(dòng)六通閥，一次進(jìn)樣即可完成復(fù)雜樣品的分離、選擇、檢測(cè)。使樣品經(jīng)過不同條件的色譜柱進(jìn)行有效的分離，通過工作站設(shè)置的時(shí)間程序自動(dòng)控制吹掃閥的進(jìn)樣、切割、選柱與反吹等過程。

多柱箱系統(tǒng)

系統(tǒng)配置多個(gè)獨(dú)立柱箱控溫單元，采用一個(gè)主柱箱，多個(gè)輔助柱箱對(duì)不同色譜柱進(jìn)行獨(dú)立控溫。使不同的色譜柱在不同柱箱中分離樣品、單獨(dú)活化，避免在檢測(cè)和維護(hù)工作中需要拆裝色譜柱的問題。

氦氣純化器：

HP-2型氦氣純化器是VICI公司生產(chǎn)的一款專載氣純化器，其純化基質(zhì)是一種無(wú)揮發(fā)性的吸附性合金，吸附劑粒子表面有一層氧化膜需通過加熱活化，活化過程必須在真空或惰性氣體環(huán)境下完成，這樣可允許氦氣在其間自由擴(kuò)散，防止氧氣純化層的形成，又可以進(jìn)行雜質(zhì)氣體的吸附。HP的吸附劑材料具有良好的熱穩(wěn)定性，包括兩個(gè)溫度控制范圍。

無(wú)死體積的減壓閥和取樣閥，防止氣體殘留造成的分析干擾

載氣減壓閥采用具有兩級(jí)穩(wěn)壓功能的全不銹鋼載氣減壓閥，大大提高了壓力穩(wěn)定性，確?；€的穩(wěn)定，同時(shí)也降低了閥體內(nèi)的死體積。

樣品取樣采用無(wú)死體積的取樣閥，采用帶吹掃保護(hù)的取樣方式，有效的避免了空氣殘留的問題，將取樣過程對(duì)分析的影響降至低的水平。

數(shù)字化電子調(diào)零技術(shù)，增強(qiáng)儀器的抗干擾能力

檢測(cè)器信號(hào)調(diào)零采用電子調(diào)零技術(shù)，利用高精度數(shù)字電路進(jìn)行基流補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)輸出信號(hào)電平的電子調(diào)節(jié)，減小了寄生參數(shù)，因而具有較強(qiáng)的抗干擾能力。

自動(dòng)斷氣保護(hù)功能，保障檢測(cè)器的安全運(yùn)行

具有智能的斷氣保護(hù)功能，當(dāng)載氣壓力小于安全閾值時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)切斷檢測(cè)器電壓，并色譜儀自動(dòng)降溫，以保護(hù)檢測(cè)器及色譜柱不受到損壞。

技術(shù)指標(biāo)

氦離子化檢測(cè)器（PDHID）：

放電模式：脈沖放電

基線噪聲：≤0.1mv

基線漂移：≤0.5mv/30min

檢測(cè)限：≤1.0×10-11g/ml

氦氣純化器：

可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn

大操作壓力：1000Psi

去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等

殘留濃度：≤10ppb

溫控指標(biāo)：

控溫范圍：室溫上4℃-450℃

控溫精度：±0.01℃

溫控區(qū)域：8路

程序升溫階數(shù)：8階

程序升溫速率：120℃/min

檢測(cè)器：室溫上4℃-450℃   精度±0.01℃

通信接口

以太網(wǎng)：IEEE802.3

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