這是一種波長(zhǎng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀（WD-XRF），可以以非破壞性和非接觸方式同時(shí)分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。 XYθZ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)（方法）可以精確分析各種金屬膜，避免衍射射線(xiàn)的影響。 4kW大功率X射線(xiàn)管可實(shí)現(xiàn)超輕元素的高精度分析，例如BPSG薄膜的痕量元素測(cè)量和硼分析。 還支持C-to-C運(yùn)輸機(jī)器人（可選）。 它配備了自動(dòng)校準(zhǔn)（全自動(dòng)每日檢查和強(qiáng)度校正功能）。

支持微量元素的濃度和成分分析

適用于從輕元素到重元素的各種元素： 4是~92U

高靈敏度硼檢測(cè)儀AD-硼

我們不斷開(kāi)發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng)，例如提高硼分析能力，以提高分析的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。 此外，降溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)是穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

X-Y-θ 驅(qū)動(dòng)級(jí)

X-Y-θ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)和測(cè)量方向設(shè)置程序可以在整個(gè)晶圓上精確測(cè)量薄膜厚度和成分分布。 鐵電薄膜也不受衍射光束的影響。

應(yīng)用

半導(dǎo)體器件BPSG，SiO2四3N4、??摻雜多晶硅（B，P，N，AS）， Wsix、??Al-Cu， TiW， TiN、TaN， PZT， BST， SBT， ??MRAM、?? 金屬膜 W， Mo， Ti， Co， Ni， Al， Cu， Ir， Pt， Ru， ? 磁盤(pán) CoCrTa， CoCrPt， DLC， ?
NiP， ?

磁光盤(pán) Tb-FeCo， ? 磁頭 GMR， TMR， ?

廣泛的固定測(cè)角儀產(chǎn)品陣容

我們根據(jù)膜厚和膜結(jié)構(gòu)提供最合適的固定測(cè)角儀。 我們還在準(zhǔn)備一個(gè)專(zhuān)用的光學(xué)系統(tǒng)，可以分析硅晶圓上的Wsix薄膜。

全自動(dòng)日常管理功能自動(dòng)校準(zhǔn)

為了獲得準(zhǔn)確的分析值，必須對(duì)儀器進(jìn)行正確校準(zhǔn)。 為此，必須定期測(cè)量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設(shè)備的健康狀況。 這種常規(guī)校準(zhǔn)工作是自動(dòng)化的，減少了操作員的工作量。 這就是AutoCal功能。

與 C-to-C 自動(dòng)輸送兼容

除了開(kāi)放式暗盒外，還支持 SMIF POD。 兼容200mm以下的晶圓。 此外，還可以與主機(jī)進(jìn)行SECS通信，并支持各種CIM/FA格式。

緊湊節(jié)能設(shè)計(jì)

主機(jī)占地面積1m2下面的緊湊型設(shè)計(jì)。 無(wú)油變壓器的使用也使輔助設(shè)備更加緊湊和節(jié)能設(shè)計(jì)。

• 同時(shí)評(píng)估薄膜厚度和成分

• 適用于所有薄膜類(lèi)型

• 支持小于 200 mm 的晶圓和介質(zhì)盤(pán)

• 高分析性能、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性

• 獲得的XYθZ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，可獲得準(zhǔn)確的XRF結(jié)果

• 高靈敏度硼分析（帶AD硼通道）

• 使用可選的 C 到 C 自動(dòng)加載器進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)

• 無(wú)油變壓器X射線(xiàn)發(fā)生器

• 功耗比以前的型號(hào)低 23%

規(guī)格/規(guī)格