優(yōu)點(diǎn)
- 測量范圍非常廣,從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)
- 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
- 使用壽命長的氧化釔銥絲
- 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
- 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)
- RoHS 合規(guī)
- 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
典型應(yīng)用
- 對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制