使用一臺(tái)設(shè)備應(yīng)對(duì)多種氣體相當(dāng)于實(shí)現(xiàn)了工藝靈活性和生產(chǎn)大化。采用布魯克斯儀器 MultiFlo™ 技術(shù)的 GF40 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器非常適用于那些使用多種氣體、需要頻繁切換氣體類型或是需要在保證氣體測(cè)量和控制準(zhǔn)確性的同時(shí)重新設(shè)定測(cè)量范圍的系統(tǒng)、工藝和設(shè)施。該產(chǎn)品與的流量測(cè)量和控制性能相結(jié)合，能夠?qū)⒐に囲`活性提升至新高度。

特點(diǎn)

* 可編程多氣體/多量程功能

* Brooks® MultiFlo™ 氣體數(shù)據(jù)庫包含數(shù)千種天然氣體測(cè)定結(jié)果，可用于建立修正函數(shù)

* 流量響應(yīng)時(shí)間不足 1 秒，精度可達(dá)目標(biāo)應(yīng)用設(shè)定值的 1%

* 非常適用于各種氣體

* 快速響應(yīng)，哈氏合金傳感器

* 擁有獨(dú)立于工具通信并可輕松接入的診斷服務(wù)端口

* 多協(xié)議通信選件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模擬接口

優(yōu)勢(shì)

* MultiFlo™ 技術(shù)能夠在不拆除管路中 MFC 的條件下設(shè)定新氣體和滿量程，從而限度延長運(yùn)行時(shí)間

* MultiFlo™ 編程功能簡(jiǎn)單、易用；60 s 內(nèi)即可完成新氣體的選擇操作

* 可大幅降低設(shè)備商和大型終端用戶的流量控制器庫存

* 得益于基于國際標(biāo)準(zhǔn)的高級(jí)計(jì)量系統(tǒng)和校準(zhǔn)技術(shù)，產(chǎn)品擁有出色的工藝氣體測(cè)量精度

* 耐腐蝕傳感器擁有的長期穩(wěn)定性，可確保良率和產(chǎn)能

* 對(duì)用戶開放的服務(wù)端口簡(jiǎn)化了故障排除和診斷操作

* 各種橡膠密封件為各種應(yīng)用提供了經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的性能靈活性

* 多協(xié)議通信接口可集成至現(xiàn)有系統(tǒng)

應(yīng)用

* 太陽能電池化學(xué)氣相沉積

* 生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室

* 真空處理

* 納米技術(shù)/MEMS 制造

* 等離子體、玻璃和卷繞鍍膜系統(tǒng)