技術指標
?反應室數(shù)量:單室;
?極限真空:5.0x10-5Pa(環(huán)境濕度≤55%);
?刻蝕材料:Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4等;
?刻蝕速率:50-100 nm/min;
?刻蝕均勻性:≤±5%;
?反應室規(guī)格:φ300x110mm;
?電極尺寸: φ200mm;
?樣品尺寸:6吋單片或小于3吋多片;
?功率源:射頻電源RF1000W一套;功率范圍在50-1000W連續(xù)可調(diào)。
?氣路系統(tǒng):四臺質(zhì)量流量控制器控制四路進氣(氧氣、氬氣、SF6、CHF3)
?真空測量:復合真空計一臺,測量范圍:1.0x10-5~1.0x10-6Pa;
?恒壓系統(tǒng):薄膜規(guī)一個,可調(diào)節(jié)閥一套。
產(chǎn)品介紹
適用于常規(guī)尺寸樣片(不超過φ6-8英寸)的刻蝕,可刻蝕的材料主要有SiO2、Si3N4、多晶硅、硅、SiC、GaN、GaAs、ITO、AZO、光刻膠、半導體材料、部分金屬等。設備具有選擇比高、刻蝕速率快、重復性好等優(yōu)點。
武漢奕升科技作為華中區(qū)域大規(guī)模、勇于和善于創(chuàng)新的真空技術公司,為客戶提供真空解決方案,包括系統(tǒng)方案設計、安裝調(diào)試、技術支持,售后服務等。 產(chǎn)品涉及從科研到工業(yè)的眾多應用領域:新能源、生物醫(yī)藥、航空航天、汽車制造、石油化工、電子、低溫、半導體、真空鍍膜、熱處理等。產(chǎn)品主要面向科研院所、實驗室及企業(yè),提供真空非標系統(tǒng)、真空排氣臺,真空檢漏系統(tǒng)、真空爐、真空干燥箱、真空鍍膜、真空冶煉和熱處理、飛行時間質(zhì)譜儀、光電子成像系統(tǒng),激光質(zhì)譜儀、納米材料制備、離子束刻蝕、空間模擬系統(tǒng)等各類真空成套設備。公司還代理國內(nèi)外各類真空泵,包括:機械泵、干泵、分子泵、離子泵、吸氣泵、羅茨泵、擴散泵、檢漏儀、閥門、真空測量及配件等。 無論是用于研發(fā)的靈活可靠的系統(tǒng),還是用于常規(guī)工業(yè)真空加工的熱處理系統(tǒng),或適合在車間中實時檢測泄漏的快速耐用的便攜解決方案,奕升科技都可提供相應解決方案。奕升科技所有真空解決方案都以專業(yè)應用和全國服務支持團隊為依托,竭誠為客戶提供質(zhì)的服務。 公司擁有一批專業(yè)的工程設計人員,*的生產(chǎn)設備及可靠的生產(chǎn)能力;我們崇尚*的企業(yè)文化,追求*的經(jīng)營理念、管理理念和人才理念, 樹立團結(jié)和諧的大局觀、誠實守信的道德觀,堅持加強企業(yè)兩個文明建設,內(nèi)增員工凝聚力,外塑 企業(yè)良好形象 ,不斷增強公司的核心競爭力。公司將進一步依靠自身優(yōu)勢和雄厚的實力,發(fā)揮良好的品牌效應,堅持“以管理和技術的不斷進步為顧客提供滿意產(chǎn)品”的質(zhì)量方針,竭力為國內(nèi)外新老客戶提供更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務。 展望未來,我們充滿信心,因為在您的支持和合作下,令本公司的業(yè)務蒸蒸日上! 誠邀各界人士光臨指導!
真空檢漏設備
RIE刻蝕機 產(chǎn)品信息