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環(huán)保APP正式上線

外延片等離子刻蝕機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱廣東芳如達科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/8/20 18:21:32
  • 訪問次數(shù)170
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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廣東芳如達科技有限公司成立于2017年,致力于低溫等離子產(chǎn)品的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,是一家集技術(shù)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售以及售后服務(wù)于一體的技術(shù)企業(yè),產(chǎn)品成功應(yīng)用于新能源、半導(dǎo)體集成電路及微電子產(chǎn)業(yè)、PCB線路板制造 、 生物醫(yī)療材料 、精密儀器、機械及電氣制造、 聚合物薄膜、紡織纖維改性 、汽車制造、橡膠塑料等產(chǎn)業(yè)。芳如達擁有15年專業(yè)研發(fā)、制造等離子體處理設(shè)備的經(jīng)驗,為更好服務(wù)客戶,先后設(shè)立深圳、香港、長沙、昆山、成都、石家莊等六大客戶服務(wù)中心,研發(fā)制造中心在東莞。芳如達擁有經(jīng)驗豐富的技術(shù)專家團隊,主要設(shè)計研發(fā)人員都擁有十年以上行業(yè)經(jīng)驗?,F(xiàn)有團隊成員50多人;其中碩士研究生3人,85%以上人員為大專以上學(xué)歷。公司秉承客戶至上、品質(zhì)至上、創(chuàng)新、速度的理念,不斷加強自主創(chuàng)新與發(fā)展。專注于等離子技術(shù)研發(fā)及應(yīng)用。同時為客戶提供高效、精準(zhǔn)的自動化制造方案。芳如達一貫堅持:“的產(chǎn)品;的服務(wù);的合作關(guān)系”的經(jīng)營理念;“顧客滿意,共同發(fā)展”的經(jīng)營目標(biāo);“至誠至信,至新至美”的公司精神;“團隊合作,以人為本”的核心價值。芳如達和南方科技大學(xué)成立了校企聯(lián)合實驗室,也同中國科技大學(xué)、天津大學(xué)、華中科大、航天空氣動力研究院、中科院電子所、理化所、金屬所、中國強磁場中心等單位都有很好的合作關(guān)系。始終牢記為客戶創(chuàng)造更大價值而持續(xù)創(chuàng)新的使命和成為行業(yè)百年服務(wù)品牌的愿景,繼續(xù)為實現(xiàn)客戶更大的價值而努力。
等離子體表面處理儀
產(chǎn)品介紹對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現(xiàn)各項異性刻蝕,保證細小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性
外延片等離子刻蝕機 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹

對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現(xiàn)各項異性刻蝕,保證細小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。

產(chǎn)品參數(shù)

型  號

FRD-E30

等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

功  率

0~500W    可調(diào)

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

石英、航空鋁(選配)

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

400*200*400

腔體容積

30L

極板

1層

密封性

級焊接密封

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

薄膜硅

氣體流量計

<±1% FS

氣路控制

2路處理氣體氣路,氣體流量可調(diào)

極限真空

3Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調(diào))

工藝氣體

Ar、N?O?、H?等等(可選)

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99;

4、多級權(quán)限操作;

5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯誤信息;

6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯誤信息;

7、報警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測處理參數(shù);

9、自動、手動操作可切換;

10、維護提示緊急停止按鈕;

11、門感應(yīng)器和真空互鎖;

12、機器運行信號指示;

13、機器運行結(jié)束提示;

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

640*1700*840 (寬高深)

重  量

280KG

設(shè)施配置

電  力

五線,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA。

其  它

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單。


產(chǎn)品特點

1、小技巧、操作簡單、易維護。

2、引進德國核心等離子技術(shù),質(zhì)量有保障。
3、進口針閥精密流量控制計,精度高。

4、材質(zhì)耐腐蝕,環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
5、多路工藝反應(yīng)氣體通道,保證產(chǎn)品清洗效果。

6、可以根據(jù)客戶需求定制。


產(chǎn)品優(yōu)勢

對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現(xiàn)各項異性刻蝕,保證細小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。


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