日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器/計無焊接結(jié)構(gòu),金屬密封,精確度≤±1%,反應(yīng)時間≤±1/秒,基本性能適用于半導(dǎo)體過程控制,實現(xiàn)了劃時代的低成本。型號5410系列同樣主體的設(shè)計價格也十分合理。適用于高真空設(shè)備、半導(dǎo)體潔凈室、高純氣體輸送等對泄漏率有很高要求的場合。
產(chǎn)品特色:
通過安裝溫度流量傳感器得到高精確的快速回應(yīng)
通用的常閉型閥門
無焊接構(gòu)造,金屬密封確保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa?m3/s
采用膈膜閥減少了死區(qū)
間距,主體尺寸和連接的設(shè)計可以和其它生產(chǎn)商的控制器兼容
技術(shù)參數(shù):
流量FS(N2換算):10SCCM-20SLM
氣體種類:所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可),高純氣體
傳感器類型:熱式傳感器
閥門類型:電磁比例閥,常閉
控制范圍:2%-99%
控制速度:2%-99%,1秒以內(nèi)
另可選:QS快啟動,反映時間更快
控制精度:±1.0%FS以內(nèi)
線性: ±0.5%FS以內(nèi)
重復(fù)性: ±0.2%FS以內(nèi)
工作差壓:滿量程FS≤5升/分鐘,49-294Kpa
5升/分鐘≤滿量程FS≤100升/分鐘,98-294Kpa
低差壓特制:2-149Kpa,根據(jù)具體流量來定制
高差壓特制:294-784Kpa,根據(jù)具體流量來定制
產(chǎn)品耐壓:980Kpa
泄漏率:為1x10-11Pa.m3 /sec以內(nèi)
使用溫度:0-50℃
允許濕度:10-90%
產(chǎn)品材質(zhì):主體-SUS316L
密封圈:SUS316L
管路接頭:1/4英寸VCR
電氣接頭:D型9針
輸入信號:0-5V(模擬信號)
輸出信號:0-5V(模擬信號)
供應(yīng)電源:+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)200mA
產(chǎn)品重量:1000g
電氣D型9針連線示意圖:
1號針:閥門開關(guān)信號(可不接)
2號針:輸出信號0-5V
3號針:電源+15VDC
4號針:電源COM
5號針:電源-15VDC(
6號針:輸入信號(高)
7號針:輸出信號COM
8號針:輸入信號(低)
9號針:閥門工作電壓反饋(可不接)
北京頗特儀器有限公司是一家專業(yè)的儀器儀表供應(yīng)商和系統(tǒng)控制集成商。作為世界儀器儀表生產(chǎn)廠家—美國PORTER、BESTACE、TI、MAC 、STI等品牌在中國的代理商,頗特公司提供上萬種有關(guān)差壓、壓力、真空、流量、質(zhì)量流量、風(fēng)速、液位、溫濕度、燃燒測試、泄漏、閥門等方面的儀器儀表,這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于暖通空調(diào)、電力、水利、石油、化工、鍋爐、壓縮機、微電子、真空、食品、醫(yī)藥、輕工業(yè)、環(huán)保、航空航天、國防、科研院校等領(lǐng)域。 美國PORTER公司的質(zhì)量流量和壓力調(diào)節(jié)產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于分析研究領(lǐng)域和精密設(shè)備;美國BESTACE公司致力于壓力傳感器的研究,其微差壓產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于樓宇自控、工業(yè)自動化、食品、醫(yī)藥等領(lǐng)域;美國TI公司專業(yè)致力于工業(yè)應(yīng)用的質(zhì)量流量計產(chǎn)品,其產(chǎn)品具有運行穩(wěn)定、精度高、壓阻小、易清洗等特點;美國MAC公司致力于在高溫下的濕度測量方案,其MAC125型高溫濕度分析儀廣泛應(yīng)用于諸多世界500強企業(yè);美國STI公司提供高精度、高耐壓、小體積的壓力、溫度變送器。 頗特公司致力于為客戶提供專業(yè)的儀器儀表及精密穩(wěn)定的過程控制設(shè)備。我們在儀器儀表、DCS、反應(yīng)裝置等行業(yè)工作了十年,國內(nèi)很多的大學(xué)、研究院都是我們的客戶,比如清華大學(xué)、北京大學(xué)、浙江大學(xué)、蘭州大學(xué)、上海交通大學(xué)、同濟大學(xué)、北京化工研究院、物理所等。 同時,我們也是美國PDC公司在中國的代理商,并具有中國石化供應(yīng)商資格,為一些石化研究院、研究所和大學(xué)制作了很多設(shè)備及反應(yīng)釜。PDC公司在反應(yīng)釜和實驗裝置系統(tǒng)研發(fā)及制造方面具有二十多年的經(jīng)驗,在業(yè)界享有很高的聲譽,并且已經(jīng)成功在美國為催化劑裂解、加氫裝置、化學(xué)和石化氣體處理系統(tǒng)等項目提供了*的設(shè)計理念及裝置。PDC公司的客戶遍布,國際上很多化工和制藥企業(yè)都是PDC的用戶,如拜耳(Bayer Corporation),陶氏化學(xué)(The Dow Chemical Company),杜邦(E.I. Du Pont),通用電氣(General Electric Corporate R &D),朗訊(Lucent Technologies),等等。 公司自成立以來,以靈活的經(jīng)營機制,以“一、、客戶”的信念,一直為客戶提供更加專業(yè)化的、優(yōu)質(zhì)的服務(wù),深受各界用戶的歡迎,并且在石油、化工、電力等重點行業(yè)做出了突出成績。在新世紀,我們將一如既往的為所有的客戶提供更優(yōu)質(zhì)、高效的服務(wù)。
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