JED-2300/2300F Analysis Station是以“圖像觀察和分析“ 為基本理念的TEM/EDS集成系統(tǒng),通過(guò)與SEM的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)聯(lián)動(dòng)使用,可以進(jìn)行大范圍的觀察和分析。EDS通過(guò)檢測(cè)被電子束激發(fā)出的樣品的特征X射線(xiàn),確定樣品含有的元素及成分比,可以進(jìn)行微區(qū)的點(diǎn)分析、線(xiàn)分析及面分析。
- JSM-6510/LA, JSM-6610A/LA 系列
- 可以在SEM圖像上分析位置,開(kāi)始EDS分析。
- VID
- 將采集的X射線(xiàn)譜圖和Visual PeakID(VID)合成的譜圖進(jìn)行比較,定性結(jié)果可以通過(guò)視覺(jué)、數(shù)值判斷。
- Play Back
- Play Back (回放) 功能
用JEOL制造的EDS采集的元素面分布圖,不僅保存了每一幀中各個(gè)像素點(diǎn)的譜圖,還對(duì)每一幀中電子束形成的圖像進(jìn)行了存儲(chǔ)。利用Play back功能,可以進(jìn)行多角度的分析如觀測(cè)譜圖等隨時(shí)間的變化等。測(cè)試后數(shù)據(jù)能夠回放,可以觀察到樣品按時(shí)間順序發(fā)生的變化,這是至今為止無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。此外,利用Play Back功能還可以截取任意的畫(huà)面。
- Smile Station™ 2
- Smile Station™2功能通過(guò)在多個(gè)視野上自動(dòng)進(jìn)行分析,生成SEM和元素面分布圖的無(wú)縫蒙太奇圖像,也可以在取得的視野上進(jìn)行連續(xù)的元素面分布和點(diǎn)分析等。(號(hào)4175597)
- Dry SD 檢測(cè)器
- Dry SD 檢測(cè)器(SDD檢測(cè)器)與傳統(tǒng)的EDS檢測(cè)器不同,不需要液氮制冷。使用快速簡(jiǎn)單,同時(shí)實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高計(jì)數(shù)率處理。