液體流量計(jì) SLQ-QT105
針對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用
SLQ-QT105針對(duì)要求苛刻的涂料系統(tǒng)的定做,是高達(dá)120 ml/min流量的烴基液體的半導(dǎo)體級(jí)-傳感器解決方案。
該傳感器基于Sensirion成熟的熱式傳感器技術(shù),開(kāi)辟了靈敏度、可靠性和速度方面的新前景。SLQ-QT105的快速響應(yīng)時(shí)間有助于高度動(dòng)態(tài)過(guò)程的準(zhǔn)確監(jiān)測(cè),如快速分配操作。該傳感器配備4x3mm PFA管件,無(wú)運(yùn)動(dòng)部件,通過(guò)一個(gè)筆直的流道壁進(jìn)行非侵入性測(cè)量。所提供的智能數(shù)字接口(如RS485)可實(shí)現(xiàn)具有總線能力的遠(yuǎn)距離通訊。
對(duì)于120 ml/min流量的水基液體或高粘度液體,請(qǐng)參閱我們的液體流量計(jì)SLQ-QT500。
性能參數(shù)
- 烴基液體的流量:120 ml/min
- 適用于光致抗蝕劑和溶劑
- 低至流量的靈敏度
- 快速響應(yīng)時(shí)間低至30 ms
- RS485、USB或0-10 V模擬電壓輸出
- 的耐化學(xué)性
- 惰性觸液材質(zhì):PCTFE、PFA和石英玻璃材料
- 保證純度
- 筆直流道,無(wú)運(yùn)動(dòng)部件
- 工作壓力:3 bar(可按要求提供高壓強(qiáng)等級(jí))
應(yīng)用
- 半導(dǎo)體過(guò)程控制
- 光刻膠分配
- 快速給藥操作
下載中心
您可以從這里下載有關(guān)Sensiron液體流量計(jì)的文件。
Sensirion被信賴(lài)于:
相關(guān)產(chǎn)品
液體流量傳感器 SLF3x
SLF3x 從根本上優(yōu)化機(jī)械設(shè)計(jì),不斷完善傳感器的功能,并將性?xún)r(jià)比提升到全新水平。該傳感器可提供的安全性、穩(wěn)定性和長(zhǎng)期可靠性,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
液體流量計(jì) SLI
SLI液體流量計(jì)適合集成到高要求的流體系統(tǒng),確保低流量的高精度測(cè)量,使可靠和準(zhǔn)確的劑量成為可能。
液體流量計(jì) SLS-1500
SLS-1500液體流量計(jì)可實(shí)現(xiàn)0–40 ml/min范圍內(nèi)的快速和精確測(cè)量。傳感器的惰性觸液材質(zhì)可提供的耐化學(xué)性和生物相容性。
液體流量計(jì) SLQ-QT500
多功能SLQ-QT500液體流量計(jì)可測(cè)量水基液體以及碳?xì)浠匣后w,測(cè)量流量范圍為0–120 ml/min,適用于各種劑量和流量應(yīng)用。
液體流量計(jì) SLG
SLG液體流量計(jì)系列是監(jiān)測(cè)UHPLC應(yīng)用中快速變化的超低流量的理想選擇,同時(shí)提供耐高壓的流道和快速響應(yīng)時(shí)間。
液體流量計(jì) LG16
小型、耐壓型LG16液體流量計(jì)適用于測(cè)量小于80 ml/min的流量。由于響應(yīng)時(shí)間短,該傳感器可以檢測(cè)氣泡。
液體流量計(jì) LG01
流量開(kāi)關(guān)和氣泡檢測(cè)器LG01可測(cè)量每分鐘幾毫升以下的流量。它具有良好的生物相容性和耐化學(xué)性。
液體流量計(jì) LS32-1500
緊湊的LS32-1500液體流量計(jì)可測(cè)量0–40 ml/min范圍的流量,堅(jiān)固耐用,同時(shí)具有良好的可重復(fù)性和快速響應(yīng)時(shí)間。
液體流量計(jì)套件
為了快速和簡(jiǎn)便地測(cè)量所有SLI、SLS、SLG,或SLQ液體流量計(jì),您可以訂購(gòu)測(cè)試套件。液體流量計(jì)套件為您提供傳感器性能的印象。
定制的(OEM)液體流量計(jì)
除了標(biāo)準(zhǔn)的液體流量傳感器解決方案,我們也以吸引力的性?xún)r(jià)比提供定制化OEM傳感器解決方案。我們可為您調(diào)整或開(kāi)發(fā)定制的液體流量計(jì)。
液體流量傳感器 LPG10
面積僅為10 mm × 10 mm的LPG10 OEM液體流量傳感器可為微升到1毫升范圍內(nèi)的流量測(cè)量提供智能、準(zhǔn)確和快速的傳感器解決方案。
液體流量傳感器 LD20
LD20一次性液體流量傳感器可測(cè)量0–10 ml/min范圍內(nèi)的流量。具有成本效益的該傳感器可實(shí)現(xiàn)醫(yī)學(xué)和生物醫(yī)學(xué)技術(shù)領(lǐng)域安全而可靠的應(yīng)用。