■ 樣品臺可搭載大/較重樣品，通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品，選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率，具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*，紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動的安q性。
■ 支持全視野移動。SEM MAP支持較大樣品的全視野觀察，與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)， 覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域，支持360度旋轉(zhuǎn)。
通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
■ GUI上顯示更換樣品的操作步驟。可以避免因人為的誤操作而導(dǎo)致樣品污染或損壞。即使是難以檢測高度的凹凸不平的樣品或者是大樣品，也能夠輕松更換。
樣品交換倉*
選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
■ SU3800 / SU3900配置了樣品臺自由模式，開放了樣品臺移動的自由度。操作人員可自行判斷，自由移動樣品臺。
※選擇樣品臺自由模式時(shí)，請同時(shí)選配紅外CCD探測器。
紅外CCD探測器*，提高了樣品臺移動的安q性
■ 紅外CCD探測器是用于監(jiān)控樣品倉內(nèi)部的裝置。通過使用紅外線攝像機(jī)，可以在觀察SEM圖像的同時(shí)監(jiān)視樣■ 品倉內(nèi)部情況。為了獲得更詳細(xì)的位置，放大CCD圖像，并且移動觀察位置。
*配件
支持全視野移動,SEM MAP支持較大樣品的全視野觀察
與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
與GUI聯(lián)合的SEM MAP，正是因?yàn)椴捎昧藰悠穫}室導(dǎo)航相機(jī)，才得以實(shí)現(xiàn)廣角相機(jī)導(dǎo)航功能*。在SEM MAP上制定觀察目
標(biāo)位置，可以順利地移動到任意制定位置上。使用大視野相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像，通過自由放大或縮小圖像，可以將大視野的彩色圖像切換到高
倍率的SEM圖像。
*配件
覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實(shí)現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域?yàn)橹睆?30mm（SU3800）/ 直徑200mm（SU3900），并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動，移動到大型樣品的*大觀察區(qū)域。
支持360度旋轉(zhuǎn)
SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關(guān)系，因此在觀察高度差大的樣品時(shí)，可根據(jù)需求旋轉(zhuǎn)樣品臺或電子束來獲得*佳的觀察分析位置，避免陰影效應(yīng)造成的影響。
②隨著各種自動化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■ 一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI
■ 搭載了簡約UI，簡單操作，如同觸屏般直觀。
■ 從移動樣品臺到樣品觀察，輕輕點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可實(shí)現(xiàn)
■ 也可觸屏操作
■ 主窗口為1280x960像素的大窗口
■ 可以切換顯示模式，并且同時(shí)顯示/拍攝兩種不同的信號
■各種自動化功能
自動調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下（※S-3700N比例）
樣品安裝完成后，通過自動光路調(diào)整及各種自動功能調(diào)整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像。高度自動化功能采用*新設(shè)計(jì)的演算程序，在執(zhí)行圖像自動調(diào)整功能時(shí)，等待時(shí)間縮短到以往的1/ 3以下。
采用了新的算法，提高了自動聚焦精度
全*升級的自動聚焦調(diào)整功能，即使是以往難以調(diào)整的光滑樣品，也能夠輕松得到良好的圖像。
搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
■ 自動監(jiān)視燈絲的狀態(tài)，自動控制使其一直處于*佳性能的狀態(tài)。
■ 搭載顯示燈絲更換時(shí)間的顯示屏。
■ 通過該功能，使得原來難以對應(yīng)的長時(shí)間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實(shí)現(xiàn)。
Multi Zigzag*，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
Multi Zigzag可以自動獲取連續(xù)的視野?？梢栽诓煌囊曇爸信臄z多張高倍率圖像，并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像，創(chuàng)建大視野圖像。
*配件
Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
在Report Creator中，可以將SEM圖像，EDS數(shù)據(jù)和CCD相機(jī)圖像等采集的圖像統(tǒng)一整合，生成報(bào)告。創(chuàng)建的報(bào)告可保存為Microsoft Office®格式。保存的文件可通過Microsoft Office®進(jìn)行編輯。
③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案
■ 可滿足多種觀察需求的探測器
■ 搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
■ SU3800 / SU3900配備了高靈敏度低真空探測器UVD。除了樣品表面的凹凸圖像之外，還可以通過檢測電子束照射樣品而產(chǎn)生的陰極熒光，來獲取CL信息。
高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像
通過采用4分割+1單元的設(shè)計(jì)，對每個(gè)單元進(jìn)行計(jì)算，無需傾斜樣品，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測器的設(shè)計(jì)十分精巧，且靈敏度高，實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高信噪比。
■配備了多gn較大樣品倉，可以搭載多種配件
SU3900標(biāo)配多gn較大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察。
■SEM/EDS一體化功能*
SU3800/SU3900全*研發(fā)的SEM/EDS一體化功能，通過SEM操作界面即可完成測試位置確定、條件設(shè)置、樣品分析以及生成報(bào)告等一系列操作。通過SEM的*面控制，可以提高測試效率，減輕了操作人員的負(fù)擔(dān)。
■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
Hitachi Map 3D可對SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測器當(dāng)中的4個(gè)不同方向的SEM信號進(jìn)行演算分析，生成三維圖像。支持2點(diǎn)間高度、體積和簡易表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）測量?？梢?性接收四個(gè)不同方向的信號，因此，無需傾斜樣品臺或合成圖像。
■支持圖像測量軟件Image pro
SU3800 / SU3900搭載了IPI，可以將SEM圖像傳輸?shù)接蒻eiguoMedia Cybernetics公司開發(fā)的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下，即可將數(shù)據(jù)從SEM傳輸?shù)綀D像測量軟件。
礦物的觀察分析案列
顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認(rèn)到暗 色區(qū)域是對應(yīng)于錯(cuò)濃度較高的區(qū)域。
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù)
| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
|---|---|---|---|
| 二級電子分解能 | 3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） | ||
| 15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） | |||
| 背散射電子分解能 | 4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） | ||
| 倍率 | ×5～×300,000（照片倍率*1） | ||
| ×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2） | |||
| 加速電壓 | 0.3kV～30kV | ||
| 低真空度設(shè)定 | 6～650 Pa | ||
| 圖像位移 | ±50µm（WD＝10mm） | ||
| *大樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
| 樣品臺 | X | 0～100mm | 0～150mm |
| Y | 0～50mm | 0～150mm | |
| Z | 5～65mm | 5～85mm | |
| R | 360°連續(xù) | ||
| T | －20°～+90° | ||
| *大可觀察范圍 | 130mm直徑（R并用） | 200mm直徑（R并用） | |
| *大可觀察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） | |
| 電機(jī)驅(qū)動 | 5軸電機(jī)驅(qū)動 | ||
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發(fā)射 | |
| 物像鏡頭光圈 | 4孔可動光圈 | ||
| 檢測系統(tǒng) | 二級電子檢測器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測器 | ||
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） | ||
| 圖像顯示 | 自動光軸調(diào)整功能 | 自動光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC） | |
| 自動光軸調(diào)整（實(shí)時(shí)級別對齊） | |||
| 自動調(diào)整光束亮度 | |||
| 自動圖像調(diào)整功能 | 自動亮度和對比度控制（ABCC） | ||
| 自動對焦控制（AFC） | |||
| 自動標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF） | |||
| 自動燈絲飽和度調(diào)整（AFS） | |||
| 自動光束對準(zhǔn)（ABA） | |||
| 自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC） | |||
| 操作輔助功能 | 光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改s功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對點(diǎn)測量、角度測量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能 | ||
| 配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件（外部裝置） | 能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、 各種外部功能臺（加熱臺、冷卻臺、牽引臺） | ||
* 1.放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。
* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸。
