Flexsem-II 是一款桌面/緊湊型 SEM,用于面向成像的任務(wù),朝越了標(biāo)準(zhǔn)桌面 SEM 的性能范圍。對于那些不愿意tou資于*典的大型zhuan業(yè) SEM 的人來說,它是理想的系統(tǒng),但同時(shí)也不想犧牲成像性能或探測器的可變性。
可放置在桌面上的緊湊型電子顯微鏡
寬幅僅為45厘米,緊湊型設(shè)計(jì),*大程*地減小占用空間。機(jī)體僅支持AC100 V 3P電源插座。此外,機(jī)體和電源盒可以分離,從而大幅度提升諸如桌面設(shè)置等的布局靈活性。
功能特性
• 高分辨率電子光學(xué)器件(4 nm @ 20 kV),光束能量在 300 eV 至 20 kV 之間;
• 高分辨率電子光學(xué)器件(4 nm @ 20 kV),光束能量在 300 eV 至 20 kV 之間;
• 高真空模式和可控的低真空調(diào)高達(dá) 100 Pa;
• SE 和 4+1 光電二極管后向散射電子探測器為標(biāo)準(zhǔn),低真空 SE 可選;
• 5 軸-樣本臺,適用于直徑達(dá) 80 毫米、高度為 40 毫米的樣本;
• 使用在樣本裝載時(shí)捕獲的可縮放彩色照片概覽,非常方便、直觀的樣本導(dǎo)航。通過修補(bǔ) SEM 概述快照進(jìn)行局部增強(qiáng),同時(shí)顯示 2 個(gè)圖像通道,信號混合可能;
• 專業(yè) EDX(布魯克、牛津、EDAX)*全集成,觀察和元素分析之間直接切換 ,自動(dòng)多區(qū)域圖像捕獲 ,日立地圖 3D軟件包
高畫質(zhì)
配備可優(yōu)化放射電流的功能,以便在較低的加速電壓下也能獲得足夠的亮度,而獲得噪點(diǎn)小且清晰的圖像。
FlexSEM 1000 II采用新型偏壓系統(tǒng),可在低加速電壓下獲得高放射電流。從而,在低加速電壓下也能實(shí)現(xiàn)同類產(chǎn)品中*高的圖像清晰度(S/N)。
技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
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分辨率*3 | 4.0 nm(二次電子像、加速電壓:20 kV、高真空模式) 15.0 nm(二次電子像、加速電壓:1 kV、高真空模式) 5.0 nm(背散射電子像、加速電壓:20 kV、低真空模式) |
加速電壓 | 0.3 kV~20 kV |
倍率 | ×6~×300,000 (照片倍率) ×16~×800,000 (顯示器顯示倍率) |
低真空設(shè)置 | 6~100 Pa |
電子槍 | 集中燈箱(Pre-Centered Cartridge Filament) |
樣品臺 | 3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺 X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm T:-15~90°、R:360° *大可觀察范圍:直徑64mm(R聯(lián)用)*4 |
*大樣品尺寸 | 直徑80 mm(選配:直徑153mm) |
*大樣品高度 | 40 mm |
尺寸 | 機(jī)體:450(寬度)×640(進(jìn)深)×690(高度) mm 電源盒:450(寬度)×640(進(jìn)深)×450(高度) mm |
選項(xiàng) |
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軟件 | Multi Zigzag(連續(xù)視野圖像導(dǎo)入功能) |