9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器和儀表
提升高溫流量控制的準確性和效率
布魯克斯儀器 9861 系列高溫熱質(zhì)量流量控制器和儀表專為在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設(shè)計,該產(chǎn)品采用高純度、無泄漏一體化金屬流路,可確保兼容過程氣體和蒸汽。 IsoSensor™ 是一種穩(wěn)定性的流量傳感器,可兼容加熱氣體管線和烘干系統(tǒng)中苛刻的環(huán)境溫度。IsoSensor™ 傳感器的低漂移性能可使高溫應用無需頻繁重新調(diào)零和重新校準。
特點
- 穩(wěn)定的 IsoSensor™ 流量測量傳感器
- 高純度流路
- 遠程控制電子元件(標配兩個模擬電子連接器)
- 數(shù)字測量和控制架構(gòu)
優(yōu)勢
- 傳感器穩(wěn)定性高,可保障運行時間、減少維護工作并降低總體擁有成本
- 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
- 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D”連接器,可實現(xiàn)標準化并減少庫存
- 強化準確性和過程控制
應用
- 光纖制造 – MCVD
- 硅材料半導體器件加工工藝