S48 300/HMT聯(lián)動控制高精度數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器
1.數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器
2.高精度
3.zui多可實現(xiàn)16臺聯(lián)動控制
S48 300/HMT聯(lián)動控制高精度數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器特點:
- 高精度
- 良好的線性
- 快速的響應(yīng)
- 對零點漂移有效的抑制
- 電磁閥使用壽命≥100萬次
- 化的零配件供應(yīng)——傳感器、分流器、精密電阻等關(guān)鍵部件日本進(jìn)口
- 通訊接口優(yōu)勢
- 多臺控制器可以同時運行
技術(shù)參數(shù):
編號 | 項目 | S48 300/HMT |
1 | 流量規(guī)格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 |
4 | 安裝角度 | 任意 |
5 | 流量控制范圍 | 2%~99% |
6 | 準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.) ±0.30% F.S.(<30% F.S.) |
7 | 線性 | ±0.5% F.S. |
8 | 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. |
9 | 響應(yīng)時間 | ≤1s |
10 | 工作壓差范圍 | (0.05~0.3)MPa(<10L/min): (0.1~0.3)MPa(10~50)L/min; (0.15~0.3)MPa 50L/min |
11 | 耐壓 | ±3MPa |
12 | 工作環(huán)境溫度 | 55℃~50℃ |
13 | 精度保證溫度 | 15℃~35℃ |
14 | 接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton或其他 |
15 | 漏率 | <1×10-8 Pa•m3/s |
16 | 接頭 | Swagelok:Φ6mm,1/4″ VCR:1/4″或其他 |
17 | 輸入信號 | 數(shù)字:RS232/RS485 模擬:(0~+5.00)V,輸入阻抗>100KΩ VCR:1/4″3/8″ |
18 | 輸出信號 | 數(shù)字:RS232/RS485 模擬:(0~+5.00)V,負(fù)載能力≤3mA |
19 | 通訊接口 | 數(shù)字:RS232/RS485 波特率:4800/9600/19200Bps 協(xié)議叢機 設(shè)備號可選范圍:0~15 |
20 | 供電電源 | ±15V(±5%) (+15V,150mA;-15V,200mA) |
21 | 重量 | 0.9 |